技术编号:3358278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种硅片镀膜工艺中的硅片专用承载用具,具体涉及一种硅片镀膜用支撑钩。 背景技术目前,在晶体硅太阳能电池片的制程中,PECVD(等离子增强化学气相沉积)法沉 积减反射膜已是必不可少的工序。这层减反射膜不仅能减少硅片表面的光反射,增加光吸 收,而且由于膜层成分中含有H,因此又具有良好的表面钝化和体钝化的重要作用;同时, 这层减反射膜更为电池片表面提供颜色均匀的外观。因此,减反射膜质量的均一性不仅是 电池片各电性能参数的重要保证,也是电池片外观衡量...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。