专利名称：一种硅片镀膜用支撑钩的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种硅片镀膜工艺中的硅片专用承载用具，具体涉及一种硅片镀
膜用支撑钩。
背景技术：
目前，在晶体硅太阳能电池片的制程中，PECVD(等离子增强化学气相沉积)法沉 积减反射膜已是必不可少的工序。这层减反射膜不仅能减少硅片表面的光反射，增加光吸 收，而且由于膜层成分中含有H，因此又具有良好的表面钝化和体钝化的重要作用；同时， 这层减反射膜更为电池片表面提供颜色均匀的外观。因此，减反射膜质量的均一性不仅是 电池片各电性能参数的重要保证，也是电池片外观衡量、检验、等级划分的重要标准。 目前，现有的PECVD镀膜设备，都需要特定的硅片承载工装，如德国Roth & Rau PECVD设备所用的硅片承载工装是石墨框(附图3)。硅片在镀膜过程中，需要水平放置在 石墨框的方格孔内，每片硅片放置在石墨框的一个方格孔中。为防止在镀膜过程中硅片从 方格孔中脱落出去，并且还要保证镀膜的质量，在方格孔两边纵向的格条上设有硅片的限 位件，在方格孔横向的格条上固定连接有用于支撑硅片的挂钩，该挂钩中间有一个横梁，横 梁两端分别对称连接有两个"J"形钩；固定连接时，将挂钩的两个"J"形钩从石墨框方格孔 格条下方的两端推出，挂钩的横梁通过一个垫片与格条底面紧密贴合，而两个"J"形钩上端 伸出格条顶面的部分用工具将其捏合在一起，以固定挂钩，两个"J"形钩分别位于相邻的两 个方格孔内，与其他挂钩上的"J"形钩一起支撑硅片，卡于挂钩横梁与格条底面之间的垫片 可以在固定挂钩的时候避免石墨框格条和挂钩变形，以保证挂钩末端的支撑点都在同一高 度平面内。 在镀膜过程中，等离子体从石墨框的下面向上喷出，由于挂钩的阻挡，挂钩投影在 硅片上的区域会产生直线型未镀膜印记，该印记会直接影响硅片的镀膜质量，进而影响到 太阳能电池片表面减反射膜的质量，因此，为了提高镀膜的质量，在保证硅片稳定的悬挂在 石墨框方格孔中的同时，挂钩末端向内下凹的钩体部分会制作的比较窄，其下凹深度也会 因钩体形状限制而变浅。然而，这也带来了新的问题，即在石墨框使用一段时间后，挂钩和 石墨框表面都会沉积较多的氮化硅，挂钩上沉积的的氮化硅会加宽挂钩在硅片上投影直线 的宽度，不利于等离子体到达挂钩在硅片上投影区域，使未镀膜印记加宽，进而影响到硅片 的镀膜质量，导致电池片表面产生色差。此外，石墨框下表面所沉积的厚厚的氮化硅层也会 对接近石墨框边缘的硅片的镀膜质量产生不良影响，随着挂钩与石墨框使用时间的增加， 这种影响会越来越大。 针对上述问题，目前通常的解决办法是将石墨框定期外包清洗， 一般1 2个月清 洗一次。然而，这种清洗的成本很高，清洗之后的石墨框也必须要更换新的挂钩，而且每次 清洗之后，石墨框必须要在反应气氛下做很长时间的预处理，这会大大影响设备的产量，从 而造成很大的产能损失。
发明内容本实用新型目的是提供一种使用、维护方便，能大大延长石墨框清洗周期以降低 成本的硅片镀膜用支撑钩。 为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种硅片镀膜用支撑钩，该支撑 钩与石墨框的格条固定连接；所述支撑钩包括一个或两个下凹的钩体、两个竖直向上的连
接臂和连接所述两个连接臂的横梁，所述钩体与连接臂底端固定连接，所述钩体的下凹深 度为3 6mm，所述钩体的钩尖到石墨框下边缘的竖直距离为2 4mm，钩尖到连接臂外边 缘的水平距离为2 4mm。 上文中，所述支撑钩与石墨框格条的固定连接是通过将支撑钩的两个连接臂扣接 在石墨框格条上来实现的，即将支撑钩从石墨框的格条下面上推，支撑钩的横梁通过一个 垫片顶在格条的底面，两个连接臂从格条两侧向上伸出，超出格条顶面的部分被相互捏合 在一起，从而将支撑钩扣接固定在石墨框格条上。支撑钩连接臂下端的两个钩体分别位于 相邻的两个石墨框方格孔内。在每个石墨框方格孔的两条对边格条上分别固定有两个支撑 钩，两边支撑钩的钩尖相对，每个方格孔内的四个钩尖形成四个处在同一高度的支点顶住 硅片。卡设于支撑钩横梁与格条底面之间的垫片可以在捏合支撑钩连接臂的时候避免石墨 框格条和支撑钩变形，以保证支撑硅片的钩尖所形成的四个支点都在同一高度平面内。所 述钩体、连接臂和横梁一般为一体结构。石墨框格条上所固定的支撑钩是沿中心线成对称 结构的双面支撑钩，而石墨框外圈四周边框上所固定的支撑钩是只有一个钩体的单面支撑 钩。 当PECVD镀膜设备所用的硅片承载工装是石墨框的情况下，硅片镀膜时，挂钩与 石墨框下边缘的竖直间隙能避免石墨框下表面累积的氮化硅层对接近石墨框边缘的硅片 的镀膜产生影响，而硅片与支撑钩之间的间隙即钩体下凹部分能使等离子体尽可能少的被 钩体本身挡到，等离子体能够最大限度的到达支撑钩钩体投影在硅片上的区域，从而减少
由于钩体阻挡产生的未镀膜区域面积，提高硅片的镀膜质量及保证外观颜色均一性。 由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有的优点是 1、由于本实用新型对支撑钩钩体结构尺寸、位置所作出的限定，使硅片能稳定的
悬挂在石墨框方格孔内的同时，硅片与支撑钩及石墨框之间留有合适的间隙，石墨框在使
用很长一段时间后，其与支撑钩表面所沉积的氮化硅层也不会对硅片的镀膜质量产生影
响，从而大大延长了石墨框的清洗周期，降低了成本，同时也避免了设备因此而导致的产能损失。 2、本实用新型使用维护方便，且易于实现，适合推广使用。
附图1为本实用新型实施例一中双面支撑钩的结构示意图； 附图2为本实用新型实施例一中单面支撑钩的结构示意图； 附图3为本实用新型实施例一中支撑钩固定在石墨框上的结构示意图； 附图4为附图3的A-A向剖视放大图。 其中1、连接臂；2、横梁；3、钩体；4、垫片；5、格条；6、边框；7、石墨框；8、双面支 撑钩；9、单面支撑钩；10、钩尖。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述 实施例一 参见附图1至附图4所示，一种硅片镀膜用支撑钩，包括一个或两个下凹的钩体 3 (双面支撑钩8为两个钩体，单面支撑钩9为一个钩体)，两个竖直向上的连接臂1和连 接所述两个连接臂1的横梁2，所述钩体3与连接臂1底端固定连接，钩体3的下凹深度为 3mm，所述钩体3的钩尖10到连接臂1的外边缘的水平距离为3mm，且钩尖10与支撑钩横梁 2的下边缘在同一水平线上，横梁2的高度为2mm。 参见附图3、4所示，支撑钩与石墨框格条5的固定连接是通过将支撑钩的两个连 接臂1扣接在石墨框的格条5上来实现的，支撑钩横梁2通过一个垫片4紧贴在格条5的 底面上，垫片4厚度为lmm。 由于本实施例中钩尖10与横梁2的下边缘在同一水平线上，故支撑钩横梁2下边 缘到石墨框7下边缘的竖直距离即为钩尖10到石墨框7下边缘的竖直距离。横梁2的高 度为2mm，在横梁2与石墨框格条5之间的垫片厚度为lmm，将两者相加，即可得钩尖10到 石墨框7下边缘的竖直距离为3mm。 实施例二 —种硅片镀膜用支撑钩，该支撑钩与石墨框的格条固定连接，所述支撑钩包括一
个或两个下凹的钩体，两个竖直向上的连接臂和连接所述两个连接臂的横梁，所述钩体与
连接臂底端固定连接，钩体的下凹深度为3mm，所述钩体的钩尖到连接臂外边缘的水平距离
为2mm，且该钩尖与支撑钩横梁的下边缘在同一水平线上，横梁的高度为lmm。 上文中，所述支撑钩与石墨框格条的固定连接是通过将支撑钩的两个连接臂扣接
在石墨框的格条上来实现的，支撑钩横梁通过一个垫片紧贴在格条的底面上，垫片厚度为
lmm。 由于本实施例中钩尖与支撑钩横梁的下边缘在同一水平线上，故支撑钩横梁下边
缘到石墨框下边缘的竖直距离即为钩尖到石墨框下边缘的竖直距离。横梁的高度为lmm，在
横梁与石墨框格条之间的垫片厚度为lmm，将两者相加，即可得钩尖到石墨框下边缘的竖直
距离为2mm。 实施例三 —种硅片镀膜用支撑钩，该支撑钩与石墨框的格条固定连接，所述支撑钩包括一
个或两个下凹的钩体，两个竖直向上的连接臂和连接所述两个连接臂的横梁，所述钩体与
连接臂底端固定连接，钩体的下凹深度为6mm，所述钩体的钩尖到连接臂外边缘的水平距离
为4mm，且该钩尖与横梁下边缘的竖直距离为lmm，支撑钩横梁的高度为2mm。 上文中，所述支撑钩与石墨框格条的固定连接是通过将支撑钩的两个连接臂扣接
在石墨框的格条上来实现的，支撑钩横梁通过一个垫片紧贴在格条的底面上，垫片厚度为
lmm。 通过将本实施例中钩尖与横梁下边缘的竖直距离、横梁的高度及垫片的厚度三者 相加，可轻易得出钩尖到石墨框下边缘的竖直距离为4mm。
权利要求一种硅片镀膜用支撑钩，该支撑钩与石墨框(7)的格条(5)固定连接；所述支撑钩包括一个或两个下凹的钩体(3)、两个竖直向上的连接臂(1)和连接所述两个连接臂(1)的横梁(2)，所述钩体(3)与连接臂(1)底端固定连接，其特征在于所述钩体(3)的下凹深度为3～6mm，所述钩体(3)的钩尖(10)到石墨框下边缘的竖直距离为2～4mm，钩尖(10)到连接臂(1)外边缘的水平距离为2～4mm。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片镀膜用支撑钩，该支撑钩与石墨框的格条固定连接；所述支撑钩包括一个或两个下凹的钩体、两个竖直向上的连接臂和连接所述两个连接臂的横梁，所述钩体与连接臂底端固定连接，所述钩体的下凹深度为3～6mm，所述钩体的钩尖到石墨框下边缘的竖直距离为2～4mm，钩尖到连接臂外边缘的水平距离为2～4mm。本实用新型在保证硅片能稳定的悬挂在石墨框方格孔内的同时，使硅片与支撑钩及石墨框之间留有足够的间隙，石墨框在使用很长一段时间后，其与支撑钩表面所沉积的氮化硅层也不会对硅片的镀膜质量产生影响，从而大大延长了石墨框的清洗周期，降低了成本，同时也避免了设备因此而导致的产能损失。
文档编号C23C16/44GK201495284SQ20092023352
公开日2010年6月2日 申请日期2009年8月3日 优先权日2009年8月3日
发明者章灵军, 赵钰雪, 辛国军 申请人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;常熟阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯光伏电子(常熟)有限公司;阿特斯太阳能光电(苏州)有限公司;阿特斯光伏科技(苏州)有限公司;常熟阿特斯太阳能电力有限公司