技术编号:3358820
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。基板载具本实用新型涉及一种载具,特别是涉及一种于真空溅镀制程中用以承载一基板的基板载具基板载具。背景技术图1所示,一般真空溅镀设备的基板载具1,是包含一框架11,以及多个可拆装地 锁设在该框架11的一内框缘111的顶侧与底侧处的锁挡板12。欲将待加工的一基板3载放在该基板载具1上时,先将该基板3嵌放于该框架11 所框围出的一空间13中,再以螺丝将锁挡板12分别锁固在邻近该框架11的内框缘111的 顶侧与底侧的地方,以压制住该基板3的一顶部与底部,如此便能使...
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