专利名称：基板载具的制作方法
技术领域：
基板载具
技术领域：
本实用新型涉及一种载具，特别是涉及一种于真空溅镀制程中用以承载一基板的基板载具基板载具。
背景技术：
图1所示，一般真空溅镀设备的基板载具1，是包含一框架11，以及多个可拆装地 锁设在该框架11的一内框缘111的顶侧与底侧处的锁挡板12。欲将待加工的一基板3载放在该基板载具1上时，先将该基板3嵌放于该框架11 所框围出的一空间13中，再以螺丝将锁挡板12分别锁固在邻近该框架11的内框缘111的 顶侧与底侧的地方，以压制住该基板3的一顶部与底部，如此便能使该基板3稳固地嵌装在 该基板载具1上。而于完成镀膜加工后，需旋松螺丝以将锁挡板12拆除，便能将该基板3 卸取下。然而，上述利用螺丝与锁挡板12相配合，以使该基板3定位在该框架11上的设 计，于该基板3的装载与卸载过程中，必须反复旋动螺丝，实显费时、麻烦，而影响到基板3 的装卸效率。
实用新型内容本实用新型的目的是在提供一种能简易便利地装卸基板的基板载具。本实用新型的基板载具，包含一个框设在一基板的一周缘的框架、一个设在该框 架的一内缘处的夹扣单元，及一个设在该框架的内缘的底侧处的支撑座。该夹扣单元具有 一个设在该框架的一内缘处的轴杆、一个枢设在该轴杆上且能相对该框架倾摆的翘摆座、 一个突设在该翘摆座的一端部且能夹压住该基板的一周侧的弹压片，及一个卷绕在该轴杆 上且能驱使该翘摆座的相反另一端部远离该框架的复位弹性件。承上所述，本实用新型提供一种基板载具，用以承载一基板，并包含一个框设在该 基板的一周缘的框架、一个设置在该框架的一内缘处的夹扣单元，以及一个设置在该框架 的内缘的底侧处的支撑座；其中该夹扣单元具有一个固设在该框架的内缘处的轴杆、一个枢设在该轴杆上且能相 对该框架倾摆的翘摆座、一个突伸设置在该翘摆座的一端部且能夹压住该基板的一周侧的 弹压片，以及一个卷绕在该轴杆上且能驱使该翘摆座的相反另一端部远离该框架的复位弹 性件。所述的基板载具，其中该翘摆座具有一个枢套在该轴杆上且能于该框架上摇摆 的轮座部，以及一个固定在该轮座部上的翘板部，该弹压片是设置在该翘板部的一端部。所述的基板载具，其中该夹扣单元还具有一个用以将该弹压片定位在该翘摆座 的翘板部上的固定块，以及一个用以将该固定块、该弹压片与该翘摆座锁组在一起的螺丝。所述的基板载具，其中该夹扣单元的复位弹性件是一扭力弹簧，其一端是连接该 翘摆座的翘板部，另一端则是连接该框架。[0012]所述的基板载具，其中该支撑座具有一个供该基板的底部插置的凹槽。本实用新型的有益效果在于利用该夹扣单元的结构设计，施压于该翘摆座便能使该弹压片松离该基板，松放该翘摆座则使该弹压片夹压住该基板，用以让该基板能简易、 迅速地装载固定在该框架上，或从该框架卸载下来。
图1是一剖视示意图，说明现有一基板载具的结构；图2是一立体图，说明本实用新型的基板载具的一较佳实施例；图3是一立体图，说明该较佳实施例的其中一夹扣单元的结构；图4是一剖视示意图，说明该较佳实施例的夹扣单元对一基板的一顶部施压的情 形；图5是一剖视示意图，说明该较佳实施例的夹扣单元松离该基板的顶部的状况。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明如图2与图3所示，本实用新型的基板载具2的一较佳实施例，是用以装载一块基 板4，并将其直立地输送入一真空溅镀设备的一腔体(图中未示)中，以进行溅镀加工，于后 再将该基板4移送出该腔体。该基板载具2包含一个框围住该基板4的一周缘的方形框架21、多个间隔设置在 该框架21的一内缘211的顶侧处、左侧处与右侧处的夹扣单元22，以及多个设置在该框架 21的内缘211的底侧处的支撑座23，所以，该多个夹扣单元22能够对该基板4的一顶部、 左侧部与右侧部产生定位作用，而该多个支撑座23则是用以支撑、定位该基板4的一底部； 本实施例中，夹扣单元22与支撑座23的数量皆是多个，当然也可以皆是一个，如分别设置 在该框架21的内缘211的顶侧处与底侧处。其中，每一支撑座23具有一供该基板4的底 部插置的凹槽231 (请配合见图4)。每一夹扣单元22具有一个锁设在该框架21的内缘211处的轴杆221、一个枢设 在该轴杆221上且能相对该框架21倾摆的翘摆座222、二块相间隔地突伸设置在该翘摆座 222的靠近该基板4的一端部上且能夹压住该基板4的一周侧的弹压片223、二个卷绕在该 轴杆221上的复位弹性件224、一个用以将该二弹压片223定位在该翘摆座222上的固定 块225，以及二个用以将该固定块225、该二弹压片223与该翘摆座222锁组在一起的螺丝 226。每一翘摆座222具有一个枢套在该轴杆221上且可摇摆地触抵在该框架21上的 轮座部227，以及一个固定在该轮座部227上且能从动于该轮座部227以进行翘翘板运动的 翘板部228，该二弹压片223是设置在该翘板部228的靠近该基板4的一端部229上。而该 二复位弹性件224皆是扭力弹簧，每一复位弹性件224的一端220是连接该翘板部228，另 一端220’则是抵接该框架21，用以，该二复位弹性件224能共同驱使该翘板部228的远离 该基板4的一端部229’，远离该框架21。如图5所示，当施压于该翘板部228的端部229’以使其朝后摆向该框架21时，会 相对带动位在该翘板部228的端部229上的该二弹压片223前摆而远离该基板4，同时使该二复位弹性件224扭曲变形而蓄积一抗形变作用力；如图4所示，一旦松放该翘板部228，该二复位弹性件224便会释出所蓄积的抗形变作用力，推使该翘板部228的端部229’前摆 复位，并相对带动该二弹压片223后摆以顺势夹压住该基板4。因此，欲将该基板4装载于该基板载具2上时，先施压于翘摆座222，使翘摆座222 的弹压片223前摆而远离该框架21，此时便可把该基板4的底部插放入支撑座23的凹槽 231中，确使该基板4平稳地架放在该框架21上后，紧接着松放翘摆座222，弹压片223便能 立刻自动朝后摆动以夹压住该基板4的顶部、左侧部与右侧部，这时候，该基板4就已稳固 地装载定位在该基板载具2上，以能被输送入该腔体中进行溅镀加工。而于该基板4完成 溅镀加工并被移送出该腔体后，同样先施压于翘摆座222以使弹压片223前摆，让该基板4 的顶部、左侧部与右侧部不再受到压制，再将该基板4的底部抽离出支撑座23的凹槽231， 至此便完成该基板4的卸载。因此，利用夹扣单元22的结构设计，施压于翘摆座222便能使弹压片223松离该 基板4，松放该翘摆座222则使弹压片223自动夹压住该基板4，配合支撑座23对该基板4 的底部的稳固支撑作用，能够让该基板4简易、迅速地装载固定在该框架21上，或从该框架 21卸载下来，所以整体能高效率地进行基板4的装卸，改善现有基板载具1是利用螺锁手段 固定基板3，以致于在基板3的装载与卸载上较显费时、麻烦的问题。归纳上述，本实用新型的基板载具2，整体能快速、高效地进行基板4的装卸，所以 确实能够达到本实用新型的目的。
权利要求一种基板载具，用以承载一基板，并包含一个框设在该基板的一周缘的框架、一个设置在该框架的一内缘处的夹扣单元，以及一个设置在该框架的内缘的底侧处的支撑座；其特征在于该夹扣单元具有一个固设在该框架的内缘处的轴杆、一个枢设在该轴杆上且能相对该框架倾摆的翘摆座、一个突伸设置在该翘摆座的一端部且能夹压住该基板的一周侧的弹压片，以及一个卷绕在该轴杆上且能驱使该翘摆座的相反另一端部远离该框架的复位弹性件。
2.如权利要求1所述的基板载具，其特征在于该翘摆座具有一个枢套在该轴杆上且 能于该框架上摇摆的轮座部，以及一个固定在该轮座部上的翘板部，该弹压片是设置在该 翘板部的一端部。
3.如权利要求2所述的基板载具，其特征在于该夹扣单元还具有一个用以将该弹压 片定位在该翘摆座的翘板部上的固定块，以及一个用以将该固定块、该弹压片与该翘摆座 锁组在一起的螺丝。
4.如权利要求3所述的基板载具，其特征在于该夹扣单元的复位弹性件是一扭力弹 簧，其一端是连接该翘摆座的翘板部，另一端则是连接该框架。
5.如权利要求1至4中任一所述的基板载具，其特征在于该支撑座具有一个供该基 板的底部插置的凹槽。
专利摘要一种基板载具，包含一个框设在一基板的一周缘的框架、一个设在该框架的一内缘处的夹扣单元，及一个设在该框架的内缘的底侧处的支撑座。该夹扣单元具有一个设在该框架的一内缘处的轴杆、一个枢设在该轴杆上且能相对该框架倾摆的翘摆座、一个突设在该翘摆座的一端部且能夹压住该基板的一周侧的弹压片，及一个卷绕在该轴杆上的复位弹性件。主要是，施压于该翘摆座便能使该弹压片松离该基板，松放该翘摆座则使该弹压片自动夹压住该基板，用以能提升基板的装/卸载效率。
文档编号C23C14/34GK201567369SQ200920269840
公开日2010年9月1日 申请日期2009年11月9日 优先权日2009年11月9日
发明者曾政富, 郑博仁, 陈俊佑, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司