技术编号:33608782
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及单晶硅棒清洗技术领域,尤其涉及一种单晶硅棒清洗装置。背景技术.现有的技术中,如中国专利号:cnu的“一种单晶硅棒清洗装置”它包括适于承载单晶硅棒的放料框、清洗槽组和至少适于将放料框依次转移至清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三的转移机构,所述清洗槽组包括从前到后依次设置的清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三,清洗槽一、清洗槽二和清洗槽三内分别安装有适于对放料框进行振动的振动装置。本实用新型可以自动对多个单晶硅棒进行多次振动清洗,清洗效果好,效率高,该装置在使用中,放料框在取...
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