技术编号：33618519
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种基于深度学习的多晶硅还原炉反应终点的预测方法。背景技术.多晶硅作为生产光伏器件的重要原料之一，是光伏产业的基石。近年来，随着新能源行业的发展，多晶硅的生产也越来越受到重视。目前主流的生产多晶硅的方法为改良西门子法，该方法利用化学气相沉积的原理，当还原炉温度在度左右时，氢气和三氯氢硅在预先处理好的硅棒上发生气相沉积反应生成多晶硅。当反应接近尾声时，由于多晶硅在硅棒表面大量沉积，导致局部温度过高，此时继续进行反应会导致后续生成的硅质量变差，这些...
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