技术编号:3362917
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及溅射镀膜设备,特别是涉及一种具有真空泵保护结构的真空 溅射镀膜设备。背景技术在真空设备运用中,真空泵作为一种从真空室抽除气体分子的设备,品种多样,安 装方式各不相同,作为设备达到真空的部件之一,有着极其重要性的地位。目前相关设备实 际使用过程中,靶材溅射时中性的靶原子(或分子)在沉积于基片上形成薄膜的同时也会 沉积于与真空腔体相连接的真空泵的叶片上,造成真空泵的失效,影响到产品的品质,并造 成相关联性设备的损坏。发明内容为了解决现有技术中,靶材溅...
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