技术编号：3364483
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种以碳化钽包覆钽丝为催化剂用于热丝化学气相沉积制备硅薄膜的方法。在化学气相沉积反应进行一段时间后，催化剂的结构和组成得到了很好的保持，相对于传统的钽丝和钨丝催化剂，具有优异的抗老化性能。背景技术硅薄膜作为第二代太阳能电池硅薄膜光伏电池的基体材料，受到越来越多人的关注和重视。热丝化学气相沉积又称催化化学气相沉积，是二十世纪七十年代出现并逐步发展起来的一种新型薄膜制备技术。在热丝化学气相沉积制备硅薄膜的过程中，气态前驱体物质经过高温热丝催化剂发生多...
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