技术编号:3364599
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路封装设备制作领域,尤其涉及一种用于对安装在切割机的主轴上的刀座端面进行修整的刀座端面修整装置。背景技术切割机是将晶圆分割成电路单元的设备,是半导体后封装关键设备。切割机的工作机理是强力磨削,主轴是强力磨削的执行部件。由于晶圆切割要求主轴高转速、高精度及高稳定性,通常采用空气静压电主轴,并且要求主轴刀座端面跳动在2μπι以下。为了保证主轴端面跳动精度,通常是在加工阶段采用平面磨床对刀座端面进行磨削加工,并在研磨板上手工研磨刀座端面,使其跳动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。