专利名称：刀座端面修整装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及集成电路封装设备制作领域，尤其涉及一种用于对安装在切割机的主轴上的刀座端面进行修整的刀座端面修整装置。
背景技术：
切割机是将晶圆分割成电路单元的设备，是半导体后封装关键设备。切割机的工作机理是强力磨削，主轴是强力磨削的执行部件。由于晶圆切割要求主轴高转速、高精度及高稳定性，通常采用空气静压电主轴，并且要求主轴刀座端面跳动在2μπι以下。为了保证主轴端面跳动精度，通常是在加工阶段采用平面磨床对刀座端面进行磨削加工，并在研磨板上手工研磨刀座端面，使其跳动在2 μ m以下。然而由于存在装配误差，导致刀座装夹到主轴上后，其端面跳动导致加工精度难以保证。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的目的是提供一种刀座端面修整装置，通过消除刀座端面与切割机的主轴的装配误差，保证最终刀座端面跳动精度。为了达到上述目的，本发明提供一种刀座端面修整装置，用于对安装在切割机的主轴6上的刀座端面5进行修整，包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板4和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主轴旋转时，控制修刀板4在垂直于所述主轴6的轴心的X方向做往复运动，对所述刀座端面5进行修整。优选的，所述控制部件还用于控制所述主轴6在轴心方向进行步进运动，以调整所述刀座端面5的修整量。优选的，所述固定部件包括吸盘1、吸附板2和压垫3，其中所述修刀板4通过所述压垫3固定在所述吸附板2，所述吸附板2通过真空负压固定在所述吸盘1表面。由上述技术方案可知，通过刀座端面修整装置中的控制部件控制修刀板在垂直于切割机的主轴的轴心的X方向做往复运动，在切割机的主轴高速旋转情况下对刀座端面进行修整，因此可以消除刀座与主轴的装配误差，保证最终刀座端面跳动精度。
图1为本发明的实施例中刀座端面修整装置的结构示意图。
具体实施例方式为了使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明实施例做进一步详细地说明。在此，本发明的示意性实施例及说明用于解释本发明，但并不作为对本发明的限定。
参见图1，为本发明的实施例中刀座端面修整装置的结构示意图，该刀座端面修整装置包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板4和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主轴旋转时，控制修刀板4在垂直于所述主轴6的轴心的X方向做往复运动，对所述刀座端面5进行修整。在本实施例中，所述控制部件，还用于控制所述主轴6在轴心方向(即Y方向)进行步进运动，以调整所述刀座端面5的修整量。该控制部件可采用例如单片机等控制元器件来实现。上述所述固定部件包括吸盘1、吸附板2和压垫3，其中所述修刀板4通过所述压垫3固定在所述吸附板2，所述吸附板2通过真空负压固定在所述吸盘1表面。本发明的技术方案可消除刀座端面5与切割机的主轴6的装配误差，保证在主轴 6正常工作状态下刀座端面5的跳动精度，提高切割机的划切质量。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种刀座端面修整装置，用于对安装在切割机的主轴(6)上的刀座端面(5)进行修整，其特征在于，包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板(4)和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主轴旋转时，控制修刀板(4)在垂直于所述主轴(6)的轴心的X方向做往复运动，对所述刀座端面( 进行修整。
2.根据权利要求1所述的刀座端面修整装置，其特征在于，所述控制部件还用于控制所述主轴(6)在轴心方向进行步进运动，以调整所述刀座端面(5)的修整量。
3.根据权利要求1所述的刀座端面修整装置，其特征在于，所述固定部件包括吸盘 (1)、吸附板( 和压垫(3)，其中所述修刀板(4)通过所述压垫C3)固定在所述吸附板(2)， 所述吸附板(2)通过真空负压固定在所述吸盘(1)表面。
全文摘要
本发明提供一种刀座端面修整装置，用于对安装在切割机的主轴(6)上的刀座端面(5)进行修整，包括固定部件、固定于所述固定部件上的修刀板(4)和控制部件，其中所述控制部件，用于在所述主轴旋转时，控制修刀板(4)在垂直于所述主轴(6)的轴心的X方向做往复运动，对所述刀座端面(5)进行修整，通过消除刀座端面与主轴的装配误差，保证最终刀座端面跳动精度。
文档编号B24B7/16GK102343535SQ20101024326
公开日2012年2月8日 申请日期2010年8月2日 优先权日2010年8月2日
发明者常亮, 易辉, 李战伟, 王兵锋, 王明权, 贾月明 申请人:北京中电科电子装备有限公司