技术编号：3365469
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种适合用作喷镀用靶材的原材料的。背景技术 作为金属钛的工业制造方法，大多使用的是将用克洛耳还原法制造的海绵钛材料切割粉碎，然后结成块，并将其溶解·铸造的方法。克洛耳还原法由以下两个工序组成在反应容器内使熔融Mg和四氯化钛反应的还原工序；和还原后通过在该反应容器内以真空状态进行加热，使包含在容器内的材料中的未反应Mg和残留副产物蒸发而除去的真空分离工序。另一方面，作为金属钛的新用途，可举出在LSI等半导体元件中的配线材料。该配线是通过以高纯度的金...
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