技术编号：3366974
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体等制造装置中用的部件，即，涉及附着在该部件上的膜状物的剥离或因等离子体造成的部件劣化引起的起尘、颗粒产生少的部件，与其他部件的接合面的贴合性良好的部件，以及绝热性和耐久性良好的部件。本发明的部件为在基材上喷镀石英玻璃的部件。作为基材，主要由石英玻璃、其他的金属、陶瓷的基材构成。本发明的石英玻璃喷镀部件具有作为保护膜或屏障膜的优良的石英玻璃喷镀膜，特别适合于作为在半导体等制造时所用的氧化扩散处理装置、CVD成膜装置、等离子体处理装置(等离子...
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