技术编号:3368862
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种冷冻抛光垫及其制备方法和装置,尤其是一种利用雾化后的液氮和雾化后的抛光液经对流换热,快速冻结成含有磨料的冰粒,之后再用经雾化后的常温水 或去离子水作为粘结剂,通过振动平台将冰粒振实后制备所得到的抛光垫及其制备方法和 装置。具体地说是一种冰粒型固结磨料抛光垫及快速制备方法及制造装置。背景技术众所周知,传统的CMP (化学机械抛光法)系统是由一个旋转的工件夹持装置、承 载抛光垫的工作台和抛光液(浆料)供给系统三大部分组成。抛光时,旋转的工件以一定...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。