技术编号：33712257
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于碳化硅复合材料制备领域，具体涉及一种二氧化硅-碳化硅凝胶复合微球及其制备方法。背景技术.碳化硅晶片是第三代半导体材料，在新能源领域、通讯领域和军工国防领域具有举足轻重的地位。在碳化硅晶片的加工过程中，研磨液是其中重要的辅助材料。.现有研磨液中通常添加有碳化硅微粉或金刚石微粉，以增强研磨液的耐磨性，但是，现有研磨液中，碳化硅微粉呈单独分散，碳化硅微粉存在大量的棱角，在研磨液中不仅流动性差，还易划伤待研磨的碳化硅晶片，使碳化硅晶片因划伤而报废，造成资源浪费，给生产厂家造成巨大经济损...
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