技术编号:3372963
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种分气系统,尤其是涉及一种C/C平板化学气相沉积分气系 统。背景技术现有技术中,用于生产C/C平板的化学气相沉积分气系统是由均勻布设在相邻C/ C平板之间两侧的石墨垫块和位于底部C/C平板下方的炉底石墨板组成,其在使用过程中 存在以下缺点1、气体不能充分在C/C平板处滞留,影响了产品的致密度;2、气体不能自动 引向炉内上部,影响了上层产品的致密度;3、一次生产时的装炉量小。实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。