专利名称：一种c/c平板化学气相沉积分气系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种分气系统，尤其是涉及一种C/C平板化学气相沉积分气系 统。
背景技术：
现有技术中，用于生产C/C平板的化学气相沉积分气系统是由均勻布设在相邻C/ C平板之间两侧的石墨垫块和位于底部C/C平板下方的炉底石墨板组成，其在使用过程中 存在以下缺点1、气体不能充分在C/C平板处滞留，影响了产品的致密度；2、气体不能自动 引向炉内上部，影响了上层产品的致密度；3、一次生产时的装炉量小。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种C/C 平板化学气相沉积分气系统，其结构简单、设计合理且使用操作方便，能有效提高上层产品 的致密度，使得每层C/C平板密度均勻一致，同时具有重量小、使用轻便、装炉量大和适用 范围广的特点。为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是一种C/C平板化学气相沉 积分气系统，包括均勻布设在相邻C/C平板之间两侧的石墨垫块和位于底部C/C平板下方 的炉底石墨板，所述炉底石墨板中心设置有炉底进气通孔，其特征在于所述相邻C/C平板 之间中心位置处设置有分气装置，所述分气装置为倒置的石墨圆筒，所述分气装置上部中 心设置有圆形通孔一且所述圆形通孔一的直径由下至上逐渐递减，所述分气装置侧壁均勻 设置有圆形通孔二。上述的一种C/C平板化学气相沉积分气系统，其特征在于所述圆形通孔一的直 径为20mm 80mm。上述的一种C/C平板化学气相沉积分气系统，其特征在于所述圆形通孔二的直 径为20mm 40mm。上述的一种C/C平板化学气相沉积分气系统，其特征在于所述圆形通孔二的数 量为4 12个。本实用新型与现有技术相比具有以下优点1、结构简单，设计合理，其通过在相邻C/C平板之间中心位置处设置分气装置，该 分气装置为倒置的石墨圆筒，其上部中心设置有圆形通孔一且圆形通孔一的直径由下至上 逐渐递减，分气装置侧壁均勻设置有圆形通孔二。2、使用操作方便，由于圆形通孔一的设置使得经进气通孔后的气体上下扩散并引 至上部产品，且由于圆形通孔一的直径由下至上逐渐递减，使得气体向上流动的阻力增大， 延长了气体在C/C平板处的滞留时间，并使得气体在炉内均勻分布，同时配合圆形通孔二， 使得气体水平扩散并引至C/C平板之间的缝隙，因此本实用新型能有效提高产品的致密 度，提高每件产品密度的均勻性。[0011]3、由于气体在炉内和C/C平板处的滞留时间加长，因此可增加一次生产时的装炉 量，进而提高了 C/C平板的生产效率。4、由于选用在高温条件下强度大的石墨作为分气装置的原材料，因此本实用新型 还具有耐高温和高温条件不易变形的特点。5、本实用新型还具有重量小、使用轻便和适用范围广的特点，可有效适用至各类 C/C平板的生产制作过程中。下面通过附图和实施例，对本实用新型做进一步的详细描述。
图1为本实用新型的整体结构示意图。图2为本实用新型分气装置的结构示意图。附图标记说明1-C/C平板；2-石墨垫块； 3-炉底石墨板；4-炉底进气通孔；5-分气装置； 6-圆形通孔一；7-圆形通孔二。
具体实施方式
如图1和2所示的一种C/C平板化学气相沉积分气系统，包括均勻布设在相邻C/ C平板1之间两侧的石墨垫块2和位于底部C/C平板1下方的炉底石墨板3，所述炉底石墨 板3中心设置有炉底进气通孔4，所述相邻C/C平板1之间中心位置处设置有分气装置5， 所述分气装置5为倒置的石墨圆筒，所述分气装置5上部中心设置有圆形通孔一 6且所述 圆形通孔一 6的直径由下至上逐渐递减，所述分气装置5侧壁均勻设置有圆形通孔二 7。本实用新型中，所述圆形通孔一 6的直径为20mm 80mm。本实用新型中，所述圆形通孔二 7的直径为20mm 40mm。本实用新型中，所述圆形通孔二 7的数量为4 12个。本实用新型的工作原理为通过利用分气装置5上部中心的圆形通孔一 6将经进 气通孔4后的气体上下扩散并引至上部产品，且由于圆形通孔一 6的直径由下至上逐渐递 减，使得气体向上流动的阻力增大，延长了气体在C/C平板1处的滞留时间，并使得气体在 炉内均勻分布，进而提高了产品的致密度；同时配合设置在分气装置5侧壁的圆形通孔二 7，使得气体水平扩散并引至C/C平板1之间的缝隙，进一步提高了产品的致密度，提高每件 产品密度的均勻性，另外也增加了一次生产时的装炉量，提高了 C/C平板的生产效率。以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型作任何限制，凡是根 据本实用新型技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效结构变化，均仍 属于本实用新型技术方案的保护范围内。
权利要求1.一种C/C平板化学气相沉积分气系统，包括均勻布设在相邻C/C平板(1)之间两侧 的石墨垫块(2)和位于底部C/C平板(1)下方的炉底石墨板(3)，所述炉底石墨板(3)中心 设置有炉底进气通孔G)，其特征在于所述相邻C/C平板(1)之间中心位置处设置有分气 装置(5)，所述分气装置(5)为倒置的石墨圆筒，所述分气装置( 上部中心设置有圆形通 孔一(6)且所述圆形通孔一(6)的直径由下至上逐渐递减，所述分气装置( 侧壁均勻设 置有圆形通孔二(7)。
2.按照权利要求1所述的一种C/C平板化学气相沉积分气系统，其特征在于所述圆 形通孔一(6)的直径为20mm 80mm。
3.按照权利要求1所述的一种C/C平板化学气相沉积分气系统，其特征在于所述圆 形通孔二(7)的直径为20mm 40mm。
4.按照权利要求1或3所述的一种C/C平板化学气相沉积分气系统，其特征在于所 述圆形通孔二(7)的数量为4 12个。
专利摘要本实用新型公开了一种C/C平板化学气相沉积分气系统，包括均匀布设在相邻C/C平板之间两侧的石墨垫块和位于底部C/C平板下方的炉底石墨板，所述炉底石墨板中心设置有炉底进气通孔，所述相邻C/C平板之间中心位置处设置有分气装置，所述分气装置为倒置的石墨圆筒，所述分气装置上部中心设置有圆形通孔一且所述圆形通孔一的直径由下至上逐渐递减，所述分气装置侧壁均匀设置有圆形通孔二。本实用新型结构简单、设计合理且使用操作方便，能有效提高上层产品的致密度，使得每层C/C平板密度均匀一致，同时具有重量小、使用轻便、装炉量大和适用范围广的特点。
文档编号C23C16/455GK201817547SQ201020292479
公开日2011年5月4日 申请日期2010年8月13日 优先权日2010年8月13日
发明者侯卫权, 彭志刚, 李树芳, 李永军, 苏君明, 薛宁娟 申请人:西安超码科技有限公司