一种tc固定装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种TC固定装置，其包括下卡块、与下卡块嵌合的上卡块，其中，在下卡块和上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔，且上卡块和下卡块是上下贯通的。由此，可通过向下卡块中插入紧固螺钉以将TC固定装置固定于TDMAT钢瓶上，将TC通过贯通孔插入钢瓶中，并通过将紧固螺钉插入上卡块的紧固螺钉插入孔中将TC固定于钢瓶中。通过本实用新型的固定装置，TC能够稳定地固定于TDMAT钢瓶的最底部，避免因MOCVD机台的振动而发生松脱，从而能够准确测定钢瓶中的温度，同时，TC的使用寿命也得到了有效延长。
【专利说明】
一种TC固定装置
技术领域
[0001 ] 本实用新型涉及一种TC固定装置，特别涉及一种将TC固定于MOCVD机台的TDMAT钢瓶中的固定装置。
【背景技术】
[0002]金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)是利用金属有机化合物作为源物质的一种化学气相淀积(CVD)工艺，是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。通常，它以m族、π族元素的有机化合物和V、VI族元素的有机化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种m-v族、π-VI族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。目前，其得到了日益广泛的使用。
[0003]因为MOCVD生长使用的源材料通常是易燃、易爆、毒性大的物质，并且要生长多组分、大面积、薄层和超薄层异质材料，因此在MOCVD系统不仅要充分考虑系统密封性，而且源材料的流量、温度控制要必须精确。
[0004]四双甲基胺钛(TDMAT)是MOCVD工艺中经常采用的源材料之一，其保存在MOCVD机台的TDMAT钢瓶中，在使用时必须准确检测TDMAT钢瓶最底部的温度，从而确定加热器的加热功率，以实现如上所述对TDMAT流速的精确控制。
[0005]如图1所述，以往，测定TDMAT钢瓶最底部的温度时TC是直接插入TDMAT钢瓶中的。当温度测定结束需要拔出TC时，如图2所示，直接将其从钢瓶上拔出。当需要再次测定其他钢瓶的温度时，再次将TC插入待检测其最底部温度的新的TDMAT钢瓶中。
[0006]如此，在多次拔出与插入的过程中，TC的杆发生一定程度上的弯曲是不可避免的。由于此弯曲不可能弯曲凭借TC自身应力自然释放得到矫正，因此，当TC被插入新的TDMAT钢瓶中时，不能确保TC位于钢瓶的最下部。由于距离钢瓶底部越远，则测定的温度越低，为此，加热器会相应地提高功率以满足预定温度要求。实际上，钢瓶的温度已经超过需要，从而使得气流的流速加快，MOCVD过程中沉积层变厚，影响产品品质。
[0007]此外，即使TC是新的，完全没有发生任何变形，但由于在钢瓶中没有任何固定措施，因此伴随机台的振动，不可避免地发生松脱，松脱后同样存在因TC并不位于钢瓶的最底部导致温度测定不准确的问题。
[0008]因此，如何准确控制TC使其位于MOCVD钢瓶的最底部从而确保测定温度的准确性日益受到关注。
【实用新型内容】
[0009]实用新型所要解决的课题
[0010]本实用新型所要解决的技术问题是通过提供一种固定装置，避免TC在TDMAT钢瓶的拔出与插入过程中发生弯曲变形，以及在MOCVD机台工作过程中因机台自身振动而发生松脱。
[0011]具体地，本实用新型通过如下技术方案实现了上述技术目的:
[0012]根据本实用新型的一个【具体实施方式】，提供了一种TC固定装置，其包括下卡块、与下卡块嵌合的上卡块，在下卡块和上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔，且上卡块和下卡块是上下贯通的。上下卡块贯通的孔径大小是不同的，上卡块的贯通孔径可允许TC穿过，下卡块的贯通孔径可允许用于容纳TC的TC井(TC Well)穿过其中。
[0013]根据本实用新型的一个实施例的TC固定装置，其中，下卡块和上卡块侧面上的紧固螺钉插入孔分别设置在下卡块和上卡块侧面的任何位置处。
[0014]根据本实用新型的一个实施例的TC固定装置，其中，下卡块和上卡块侧面上的紧固螺钉插入孔设置在下卡块和上卡块的同一侧上下对齐的位置上。
[0015]实用新型效果
[0016]通过本实用新型的固定装置，TC能够稳定地固定于TDMAT钢瓶的最底部，避免因MOCVD机台的振动而发生松脱。同时，TC在从一个TDMAT钢瓶拔出之后插入另一个TDMAT钢瓶的过程中不会发生弯曲变形，从而使得TC即使反复多次使用也能够准确位于TDMAT钢瓶的最底部，能够准确测定钢瓶中的温度，同时，TC的使用寿命也得到了有效延长。
【附图说明】
[0017]图1为TC在没有本实用新型的固定装置的情况下安装于钢瓶中的状态的示意图；
[0018]图2为TC在没有本实用新型的固定装置的情况下从钢瓶中拔出的过程的示意图；
[0019]图3为TC通过本实用新型的固定装置安装于钢瓶中的状态的示意图；
[0020]附图标记说明
[0021]1、上卡块；
[0022]2、下卡块；
[0023]3、紧固螺钉；
[0024]4、 TC
[0025]5、钢瓶。
【具体实施方式】
[0026]本实用新型的TC固定装置包括下卡块2、与下卡块2嵌合为一体的上卡块1，在上下卡块的侧向分别设置有紧固螺钉插入孔，且上下卡块在上下方向上贯通，由此能够从上下方向插入热电偶(TC)4。
[0027]在使用时，将已经与上卡块I嵌合的下卡块2与钢瓶5自身所具有的凸台嵌合，并通过紧固螺钉3将其与钢瓶5紧固接合，之后，将热电偶4从上方插入上卡块I上下贯通的插入孔中，并沿该孔进一步向下插入下卡块2和钢瓶5中。当确定热电偶4已经插入TDMAT钢瓶5的最底部之后，在上卡块I侧向的紧固螺钉插入孔中也插入紧固螺钉3，由此将热电偶4固定在上卡块I上。
[0028]在进一步的实施例中，所示上卡块I可通过过盈配合插入下卡块2的上下贯通的孔中，由此实现两者的嵌合。
[0029]在进一步的实施例中，所示上下卡块可通过螺纹连接或粘接而嵌合在一起。
[0030]产业上的实用性
[0031]通过本实用新型的TC固定装置，TC能够稳定地固定于TDMAT钢瓶的最底部，避免因MOCVD机台的振动而发生松脱。同时，TC在从一个TDMAT钢瓶拔出之后插入另一个TDMAT钢瓶的过程中不会发生弯曲变形，从而使得TC即使反复多次使用也能够准确位于TDMAT钢瓶的最底部，能够准确测定钢瓶中的温度，同时，TC的使用寿命也得到了有效延长。因此，本实用新型的TC固定装置具有广阔的应用前景。
【主权项】
1.一种TC固定装置，其特征在于，包括下卡块、与所述下卡块嵌合的上卡块，在所述下卡块和所述上卡块侧面分别设置有紧固螺钉插入孔，且所述上卡块和所述下卡块是上下贯通的。2.根据权利要求1所述的TC固定装置，其特征在于，所述下卡块和所述上卡块侧面上的紧固螺钉插入孔分别设置在所述下卡块和所述上卡块侧面的任何位置处。3.根据权利要求1所述的TC固定装置，其特征在于，所述下卡块和所述上卡块侧面上的紧固螺钉插入孔设置在所述下卡块和所述上卡块的同一侧上下对齐的位置上。
【文档编号】C23C16/52GK205473979SQ201620243968
【公开日】2016年8月17日
【申请日】2016年3月28日
【发明人】张强
【申请人】和舰科技(苏州)有限公司