技术编号：33758191
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种微发光二极管巨量转移技术，尤其涉及一种巨量转移用三自由度混合支撑平台。背景技术.由发光二极管(light emitting diode，led)缩小至微米以内的mini/micro led具有超高解析度、高亮度、低功耗、无拼接缝隙及快响应等优势，被视为继lcd和oled技术之后新一代主流的显示技术。mini/micro led显示面板生产的工艺流程链长且复杂，主要包括芯片制备、芯片巨量转移和缺陷检测与修复等环节，其中巨量转移作为工艺流程链的最关键环节，直接影响了显示屏的...
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