技术编号:3376077
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及工件传输,具体地,涉及一种用在工件传输过程中的工件定位系统。背景技术在太阳能电池、半导体芯片以及TFT(Thin Film Transistor)面板等微电子产品的制造过程中,广泛地采用一种等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition,简称PECVD)技术进行工艺处理。请参阅图1,为一种常用PECVD设备的原理框架图。如图所示,该PECVD设备包括顺次连接的装载台10、装载腔室20、工...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。