专利名称：一种工件定位系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及工件传输技术领域，具体地，涉及一种用在工件传输过程中的工件定位系统。
背景技术：
在太阳能电池、半导体芯片以及TFT(Thin Film Transistor)面板等微电子产品的制造过程中，广泛地采用一种等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition,简称PECVD)技术进行工艺处理。请参阅图1，为一种常用PECVD设备的原理框架图。如图所示，该PECVD设备包括顺次连接的装载台10、装载腔室20、工艺腔室30、卸载腔室40、卸载台50以及连接在卸载台50和装载台10之间的回收系统60。在装载腔室20内设置有预热模块用以使载板升温至工艺所需温度，相应地，在卸载腔室40内设置有冷却模块用以为载板降温。上述设备的工作过程为:在装载台10将工件装载到载板上，并进入装载腔室20进行预热处理；当载板及其所承载的工件达到工艺温度后被传送至工艺腔室30进行PECVD工艺；当工艺完成后则通过卸载腔室40及卸载台50将工件传出，并将载板经由回收系统60而传送至装载台10所在区域，以进行下一个循环。如图中虚线箭头所示，卸载台50和装载台10均设置成可以升降的模式，以装载或卸载工件。请参阅图2，其为图1中的装载台的基本结构的俯视图。如图2所示，装载台包括上料台14、工件传输带13、龙门架11。在实际应用中，借助于机械手12将工件71从上料台14的料盒15中逐一取出，并借助于工件传输带的传动而将所述工件71逐一放置到工件传输带13上的位置A至位置D，而后再由龙门架11将位置A至位置D处的工件71 一并移送至载板70，从而实 施上料。下面更具体地说明装载台的上料过程。首先，机械手12从上料台14的料盒15中取出第一片待加工的工件71，并将其放置到处于停止状态的工件传输带13的位置A处；而后，使工件传输带13进入高速运行状态以将该工件71传送到位置B处，此时位置A已空出且工件传输带13由原来的高速运行状态迅速变为停止状态，以便机械手12将从料盒15中取出的第二片工件71平稳地放置到位置A处；之后，再使工件传输带13高速运行而将第一片工件71传送到位置C处、将第二片工件71传送到位置B处，此时位置A又空出且工件传输带13又由原来的高速运行状态迅速进入停止状态。此后，机械手12继续取片、放片，工件传输带13继续向下游方向传送工件71，直至位置A至位置D全部装载有工件71，此时，使龙门架11运行到工件传输带13的正上方并进行吸片，然后再使其运行到载板70上方并将工件71放下。重复上述机械手12取片/放片、龙门架11吸片/放片等过程，直到载板70装满，从而完成上料过程，即，完成工件71向载板70的装载过程。在实际的上料/下料过程中，由于机械手和工件传输带通常都工作在高速运行状态下，当工件被高速传送到预定装载位置并急停时，工件由于惯性会向前移动很大一段距离或者跑偏，此时就需要人工将其摆正到预定装载位置，这将大大影响工件的传输效率及上料/下料的效率，进而影响整个工艺效率。而且，当工件被高速传送到最下游的预定装载位置(例如图2中的位置D)并急停时，还会出现工件因惯性而滑出传输带并损毁的现象，这将造成极大的浪费。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种应用于工件传输系统中的工件定位系统，其能够提高工件传送效率以及生产效率，同时还能够减少浪费。为此，本发明提供一种工件定位系统，包括M条彼此平行设置的工件传输带，两两相邻的工件传输带之间形成工件传输带间隙，M为大于等于2的整数。并且，所述工件定位系统还包括工件支撑部、控制模块、吸片气路和动力源。其中，所述工件支撑部对应于所述工件传输带间隙而设置，其宽度小于所述工件传输带间隙的宽度，且其在所述工件传输带间隙所在平面上的正投影嵌在所述工件传输带间隙中，并且在所述工件支撑部上对应于工件预定位置开设有气孔；所述控制模块与所述吸片气路和动力源相连，并控制二者的工作；所述吸片气路连接所述工件支撑部上的气孔，并在所述控制模块的控制下吸气或排气，以在所述气孔处产生用于吸附工件的负压或者用于释放工件的正压；所述动力源与所述工件支撑部相连，并在所述控制模 块的控制下向所述工件支撑部提供带动其相对于所述工件传输带间隙所在平面运动的驱动力。其中，所述工件预定位置的数量为N，N为大于等于2的整数。其中，对于单个所述工件传输带间隙而言，所述工件支撑部为托板并且其数量为一个，所述托板沿所述工件传输带的传送方向跨越所述N个工件预定位置，并且在所述托板上对应于每一个所述工件预定位置均开设有所述气孔。其中，对于单个所述工件传输带间隙而言，所述工件支撑部为托板并且其数量为N个，所述N个托板的设置位置与所述N个工件预定位置一一对应，并且在每一个所述托板上对应于相应工件预定位置均开设有所述气孔。其中，所述动力源的数量与所述托板的数量相同，并且每一个所述托板均独立地连接一个动力源。其中，所述动力源的数量为一个,并且所述工件定位系统还包括动力联动部件,所述动力联动部件分别与所述动力源和所述N个托板相连，并且所述动力源和所述N个托板彼此相向地设置在所述动力联动部件的两侧。其中，对于单个所述工件传输带间隙而言，对应于每一个所述工件预定位置，所述工件支撑部均包括至少三个支撑臂。这种情况下，当存在多个工件传输带间隙且与之相对应地沿与工件传输带传送方向相垂直的方向设置有多个工件支撑部时，不必在每一个支撑臂上均开设与所述吸片气路相连的气孔，而是可以根据实际情况仅在几个支撑臂开设气孔。事实上，在支撑臂上开设气孔时，只要满足在工件被托起时能够将其吸附在工件支撑部上这样的条件即可，而无需特别限定在哪些支撑臂上开孔以及开孔的数量和位置。其中，所述工件传输带的数量为2，对应于每一个所述工件预定位置，所述工件支撑部均包括至少三个支撑臂，并且在每一个所述支撑臂上均开设有与所述吸片气路相连的气孔。其中，至少是对应于同一个工件预定位置的所述工件支撑部连接至同一个动力源。也就是说，与同一个工件预定位置相对应的工件支撑部，无论其对应于同一个工件传输带间隙而设置，还是对应于多个工件传输带间隙而设置，其都与同一个动力源相连，以此确保位于该工件预定位置的工件不会因多个动力源同时驱动而导致运动失调。其中，所述动力源包括气缸、液压缸或电机。其中，所述工件定位系统还包括位置传感器，其对应于所述工件预定位置而设置且与所述控制模块相连，用于检测所述工件是否传输到所述工件预定位置，并将检测结果传输至所述控制模块。本发明具有下述有益效果:本发明提供的工件定位系统设置有工件支撑部、控制模块、吸片气路和动力源，该控制模块可以根据工件是否传送到工件预定位置以及工件传输带是否停稳等情况来控制动力源是否向工件支撑部提供运动驱动力，以及控制吸片气路是否吸气或排气，以便在工件传送到工件预定位置时，借助于工件支撑部的运动而使该工件脱离工件传输带，同时使吸片气路吸气而在工件支撑部上的气孔处产生负压，以将所述脱离工件传输带的工件吸附在该工件支撑部上；而且在工件传输带停稳时，使吸片气路排气而在工件支撑部上的气孔处产生正压，以释放先前吸附在该工件支撑部上的工件，并随着工件支撑部向工件传输带间隙的运动而将该工件重新放置到工件传输带上。由此可见，采用本发明提供的工件定位系统，可以在工件传输带由高速运行状态迅速进入停止状态时，使被传送的工件脱离工件传输带并将其吸附在工件支撑部上，从而避免工件因急停而在工件传输带以及工件支撑部上产生位移，进而避免因重新码放工件而影响生产效率；并且还可以在工件被高速传送到最下游的预定装载位置(例如图2中的位置D)并急停时，使被传送的工件脱离工件传输带并将其吸附在工件支撑部上，从而避免该工件因惯性而滑出工件传输带并损毁，进而减少甚至避免由此所造成的浪费。
图1为一种常用P ECVD设备的原理框架图；图2为图1中的装载台的基本结构的俯视图；图3A为本发明一个具体实施例提供的工件定位系统的结构示意图；图3B为图3A所示工件定位系统的俯视图；以及图4为应用图3A和图3B所示工件定位系统的装载台的基本结构的俯视图。
具体实施例方式为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的工件定位系统进行详细描述。本发明提供了一种工件定位系统，其包括工件支撑部、控制模块、吸片气路、动力源以及M条彼此平行设置的工件传输带，其中两两相邻的工件传输带之间形成工件传输带间隙，上述M条工件传输带共形成M-1个工件传输带间隙，其中M为大于等于2的整数。在该工件定位系统中，工件支撑部对应于工件传输带间隙而设置，并且工件支撑部的宽度小于工件传输带间隙的宽度，工件支撑部在工件传输带间隙所在平面上的正投影嵌在该工件传输带间隙中，并且在工件支撑部上对应于工件预定位置开设有与吸片气路相连的气孔；控制模块与吸片气路和动力源相连，并控制二者的工作；吸片气路可以采用吸盘等结构，其连接工件支撑部上的气孔，并在控制模块的控制下吸气或排气，以在所述气孔处产生用于吸附工件的负压或者产生用于释放工件的正压；动力源与工件支撑部相连，并在控制模块的控制下向工件支撑部提供驱动力，以带动工件支撑部相对于工件传输带间隙所在平面运动，例如作升/降运动。请一并参阅图3A和图3B，其中示出了本发明一个具体实施例提供的工件定位系统。该工件定位系统包括两条彼此平行设置的工件传输带21-1和21-2、工件支撑部23、动力源25、控制模块(图中未示出)以及吸片气路(图中未示出)，并且上述2条工件传输带21-1和21-2之间形成工件传输带间隙P(以下简称为间隙P)。在本实施例中，工件支撑部23设置成托板形式，其宽度小于工件传输带21-1和21-2之间的间距(即，工件支撑部23的宽度小于间隙P的宽度)，且工件支撑部23在间隙P所在平面上的正投影落在该间隙P中。在不需要托起工件时，该工件支撑部23位于间隙P的正下方；在工件支撑部23上升并托起工件的过程中，该工件支撑部23自间隙P的正下方向上逐渐穿越该间隙P并到达该间隙P的正上方，从而将位于工件传输带上的工件托起。而且，该托板形式的工件支撑部23沿工件传输带21-1和21-2的传送方向(即，图中的左右方向)覆盖4个工件预定位置，且在该工件支撑部23上对应于每一个工件预定位置均开设有气孔24，该气孔24连接吸片气路，以便在工件支撑部23上升并托起工件时借助于吸片气路的吸气动作而在气孔24处形成负压，以将工件吸附在该工件支撑部23上；并在工件支撑部23下降以将工件放置到工件传输带21-1和21-2上时，借助于吸片气路的排气动作而在气孔24处形成正压，以释放先前所吸附的工件，以便将其重新放置到工件传输带21-1和21-2上。在本实施例中，在工件支撑部23的下方靠近左、右边缘处分别设置有一个动力源25。该工件支撑部23在与其相连接的2个动力源25的带动下，可相对于工件传输带21_1和21-2所在平面(即，相对于工件传输带间隙P所在平面)作升/降运动，以便将工件传输带21-1和21-2上的工件向上托起，或者将工件支撑部23所吸附的工件向下放置到工件传输带21-1和21-2上。在实 际应用中，该动力源25可以是气缸、液压缸或电机，并且其数量不必局限于图3A所示的2个，而是也可以为I个或者更多个。在本实施例中，控制模块分别连接动力源25和吸片气路，并且控制二者工作。具体地，控制模块在判断出工件已到达工件预定位置时，指示动力源向工件支撑部提供带动其上升的驱动力，同时在上升过程中还指示吸片气路吸气，以在工件支撑部上的与吸片气路相连的气孔处产生用于吸附工件的负压，以便在该工件支撑部接触到工件时将该工件吸附于其上；并且，控制模块在判断出工件传输带已停稳时，指示动力源向工件支撑部提供带动其下降的驱动力，同时在下降过程中还指示吸片气路排气，以在与吸片气路相连的气孔处产生用于释放工件的正压，以便在工件接触到工件传输带时将该工件平稳地放到工件传输带上。在实际应用中，可以采用下述方法来判断工件是否到达工件预定位置，例如，先根据工件放置位置与工件预定位置之间的距离、工件传输带传送速度来确定工件传送到工件预定位置所需要的时间，而后再根据工件的传送时间来判断工件此时是否到达工件预定位置；再如，可以在该工件定位系统中对应于工件预定位置而设置位置传感器，通过该位置传感器来检测工件是否传输到位，并将检测结果传输至控制模块，以便控制模块基于此而控制吸片气路和动力源的工作。至于如何确定工件传输带是否停稳，可以采用目前通用的方法，在此不再赘述。需要指出的是，尽管前述实施例中的工件传输带的数量为2，但是本发明并不局限于此，在实际应用中，工件传输带的数量也可以为I个，或者为3个及以上。当工件传输带的数量为I时，在与工件传输带传送方向相垂直的方向上且位于工件传输带两侧的区域即为工件传输带间隙，并且工件的宽度大于工件传输带的宽度，使得工件在与工件传输带传送方向相垂直的方向上延伸至该工件传输带间隙，以便对应于该工件传输带间隙而设置工件支撑部，并且使工件在工件支撑部的带动下脱离工件传输带或者被重新放置到工件传输带上。而且，当工件传输带的数量为3个及以上时，工件传输带间隙可以包括位于最外侧工件传输带的外侧的区域(如上述工件传输带的数量为I时的工件传输带间隙)以及两两相邻的工件传输带之间的间隙区域。这种情况下，工件可以在与工件传输带传送方向相垂直的方向上延伸出最外侧的2个工件传输带并落入最外侧的2个工件传输带间隙中，此时至少可以在最外侧的2个工件传输带间隙处设置工件支撑部，并且在此所说的最外侧的工件传输带间隙指的是在与工件传输带传送方向相垂直的方向上且位于最外侧的2个工件传输带外侧的区域。当然，当工件传输带的数量为3个及以上时，工件也可以不延伸到最外侧的2个工件传输带之外，此时最外侧的工件传输带间隙为最外侧工件传输带与次外层工件传输带之间的间隙，此时同样至少可以在最外侧的2个工件传输带间隙处设置工件支撑部。当然，在实际应用中也可以在每一个工件传输带间隙中均设置工件支撑部。还需要指出的是，尽管前述实施例中的工件支撑部设置成托板形式并且在每一个工件传输带间隙中均 设置一个工件支撑部，但是本发明并不局限于此。事实上，在工件传输带间隙中可以设置多个托板形式的工件支撑部，这些工件支撑部的设置位置与工件预定位置一一对应，并且在每一个工件支撑部上对应于相应工件预定位置均开设有与吸片气路相连的气孔。更进一步地，工件支撑部也可以设置成支撑臂等其他形式，例如，对于单个工件传输带间隙而言，对应于每一个工件预定位置而设置一个工件支撑部，并且该工件支撑部包括至少三个支撑臂，以便将工件平稳地托起。而且，对于每一个工件预定位置，可以在不同的工件传输带间隙内设置数量不等的工件支撑部，例如，该工件定位系统包括3条彼此平行设置的工件传输带，并且工件在与工件传输带传送方向相垂直的方向上不延伸出最外侧的2个工件传输带，即，此时工件传输带间隙为两两相邻的工件传输带之间的2个工件传输带间隙。此时对应于一个工件预定位置，可以在一个工件传输带间隙处设置一个工件支撑部，在另一个工件传输带间隙处设置两个工件支撑部，以此实现对工件的支撑。进一步需要指出的是，尽管前述实施例中的动力源为两个，但是本发明并不局限于此，在实际应用中，对于一个工件传输带间隙设置一个工件支撑部的情况而言，动力源也可以为I个或者更多个，只要能够平稳地带动该工件支撑部运动即可。对于在一个工件传输带间隙内对应于多个工件预定位置设置多个工件支撑部的情况而言，每一个工件支撑部均可以独立地单独配置一个动力源；或者使所述多个工件支撑部中的几个或者全部共同连接至一个动力源，此时，该工件定位系统就还需要设置动力联动部件，该动力联动部件的一侧与动力源相连，另一侧与要连接到该动力源的各个工件支撑部相连，从而实现由一个动力源共同驱动多个工件支撑部的目的。当然，为了保证工件运动的协同性，对于各个工件传输带间隙而言，至少是对应于同一个工件预定位置的工件支撑部均连接至同一个动力源，也就是说，在实际应用中，无论某个工件沿垂直于传送方向的方向覆盖多少个工件传输带间隙，该工件在某个工件预定位置所对应的全部工件支撑部均由同一个动力源来驱动。下面结合图4所示装载台来详细说明图3A和图3B所示工件定位系统的工作过程。如图4所示，装载台包括上料台14、龙门架11和工件定位系统。其中，工件定位系统采用前述图3A和图3B所示的工件定位系统，具体包括两条彼此平行设置的工件传输带21-1和21-2、工件支撑部23、动力源25、控制模块(图中未示出)以及吸片气路(图中未示出)，对应于工件传输带21-1和21-2之间的间隙而设置托盘形式的工件支撑部23，该工件支撑部23沿工件传输带21-1和21-2的传送方向覆盖4个工件预定位置，并且在其上对应于每一个工件预定位置均开设有与吸片气路连接的气孔24。在该装载台中，定义了 4个工件预定位置，即，工件预定位置A、工件预定位置B、工件预定位置C和工件预定位置D，以下分别简称为位置A、位置B、位置C和位置D。在实际工作过程中，机械手12从上料台14的料盒15中取出第一片工件71放置到工件传输带21-1和21-2上的位置A处并由工件传输带21-1和21_2将其向下游方向(即，图4中向右的方向)传送。当位置B处的位置传感器22检测到工件71时，立即将该检测结果传输至控制模块，该控制模块基于此判断出工件71已到达工件预定位置，并指示动力源向工件支撑部23提供上升的驱动力，工件支撑部23在动力源的带动下上升并自下而上穿过工件传输带间隙以托起置于工件传输带21-1和21-2上的工件71，同时该控制模块还指示与位置B相对应的气孔24所连接的吸片气路吸气，以在与位置B相对应的气孔24处形成负压，从而将工件支撑部23所托起的工件71吸附于其上，以避免工件71在工件传输带21-1和21-2以及工件支撑部23上产生位移，从而避免因重新码放工件而影响生产效率；并且，待工件传输带21-1和21-2停稳后，控制模块指示动力源向工件支撑部23提供下降的驱动力，工件支撑部23在动力源的带动下自上而下穿过工件传输带间隙，同时该控制模块还指示与位置B相对应的气孔24所连接的吸片气路排气，以在与位置B相对应的气孔24处形成正压，从而释放先前所吸附的工件71并将其放置到工件传输带21-1和21-2上，以便该工件71可以继续被工件传输带21-1和21-2携带着向下游传送。而且，待第一片工件71到达位置B且工件传输带21-1和21_2停稳后，机械手12从料盒15中取出第二片工件71并放置到位置A处，而后由工件传输带21-1和21-2将位于位置B处的第一工件71以及位于位置A处的第二工件71共同向下游传送。类似地，当位置C和位置B处的位置传感器22检测到工件71时，控制模块立即指示动力源向工件支撑部23提供上升的驱动力，工件支撑部23在动力源的带动下上升并自下而上穿过工件传输带间隙以托起置于工件传输带21-1和21-2上的工件71，同时该控制模块还指示至少是与位置C和位置B相对应的气孔24所连接的吸片气路吸气，以在与位置C和位置B相对应的气孔24处形成负压，从而将工件支撑部23所托起的工件71吸附于其上，以避免工件71在工件传输带21-1和2 1-2以及工件支撑部23上产生位移，从而避免因重新码放工件而影响生产效率。并且，待工件传输带21-1和21-2停稳后，控制模块指示动力源向工件支撑部23提供下降的驱动力，同时该控制模块还指示与位置C和位置B相对应的气孔24所连接的吸片气路排气，以在与位置C和位置B相对应的气孔24处形成正压，从而释放先前所吸附的工件71以将其重新放置到工件传输带21-1和21-2上，以便该工件71可以继续被工件传输带21-1和21-2携带着向下游传送。重复上述操作,直至工件传输带21-1和21-2的位置D、位置C、位置B和位置A全部装在有工件71。此时，龙门架11运行到工件传输带21-1和21-2的正上方并进行吸片，然后再运行到载板70上方并将工件71放下。重复上述机械手12取片/放片过程、工件传输带21-1和21-2的传送过程以及龙门架11的取片/放片过程，直到载板70装满，从而完成工件71的装载工序，S卩，上料结束。需要指出的是，尽管前述实施例中的工件预定位置的数量为4个，但是本发明并不局限于此，在实际应用中，工件预定位置的数量可以为N个，其中N为大于等于2的整数。而且，本发明中所说的吸片气路不能狭义地理解为仅仅吸片，事实上，其既能够通过吸气而在气孔形成负压以吸附工件，又能够通过放气而在气孔处形成正压以释放所吸附的工件。进一步需要指出的是，尽管前面以上料过程对本发明提供的工件定位系统的工作过程进行了说明，但是本发明并不局限于此，在实际应用中，该工件定位系统同样适用于下料过程，具体地过程如下:先由龙门架11将加工后的工件自载板70上取下并放置到工件传输带上，而后由工件传输带按照上述上料过程的逆过程而将工件一一传送到位置A，并由机械手将其逐一拾取到下料台。此时工件定位系统的工作原理及过程类似于前面结合图3A、3B和图4所作的说明，在此不再赘述。可以理解，采用本发明提供的工件定位系统后，当工件被工件传输带传送到工件预定位置后，不会在工件传输带自高速运行状态迅速进入停止状态时因为惯性而使工件向前移动很大一段距离或者跑偏，因此也就无需人工将其摆正到预定装载位置，从而相对于现有技术而言可以提高工件的传输效率及上料/下料的效率，进而提高整个工艺效率。特别是，当工件被高速传送到最下游的预定装载位置(例如图4中的位置D)并急停时，不会出现因惯性而滑出传输带并损毁的现象，从而减少甚至避免由此所造成的浪费。还可以理解的是，以上实施 方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种工件定位系统，包括M条彼此平行设置的工件传输带，两两相邻的工件传输带之间形成工件传输带间隙，其中M为大于等于2的整数，其特征在于，所述工件定位系统还包括工件支撑部、控制模块、吸片气路和动力源，其中 所述工件支撑部对应于所述工件传输带间隙而设置，其宽度小于所述工件传输带间隙的宽度，且其在所述工件传输带间隙所在平面上的正投影嵌在所述工件传输带间隙中，并且在所述工件支撑部上对应于工件预定位置开设有气孔； 所述控制模块与所述吸片气路和动力源相连，并控制二者的工作； 所述吸片气路连接所述工件支撑部上的气孔，并在所述控制模块的控制下吸气或排气，以在所述气孔处产生用于吸附工件的负压或者用于释放工件的正压； 所述动力源与所述工件支撑部相连，并在所述控制模块的控制下向所述工件支撑部提供带动其相对于所述工件传输带间隙所在平面运动的驱动力。
2.根据权利要求1所述的工件定位系统，其特征在于，所述工件预定位置的数量为N，其中，N为大于等于2的整数。
3.根据权利要求2所述的工件定位系统，其特征在于，对于单个所述工件传输带间隙而言，所述工件支撑部为托板并且其数量为一个，所述托板沿所述工件传输带的传送方向跨越所述N个工件预定位置，并且在所述托板上对应于每一个所述工件预定位置均开设有所述气孔。
4.根据权利要求2所述的工件定位系统，其特征在于，对于单个所述工件传输带间隙而言，所述工件支撑部为托板并且其数量为N个，所述N个托板的设置位置与所述N个工件预定位置一一对应，并且在每一个所述托板上对应于相应工件预定位置均开设有所述气孔。
5.根据权利要求4所述的工件定位系统，其特征在于，所述动力源的数量与所述托板的数量相同，并且每一个所述托板均独立地连接一个动力源。
6.根据权利要求4所述的工件定位系统，其特征在于，所述动力源的数量为一个，并且所述工件定位系统还包括动力联动部件，所述动力联动部件分别与所述动力源和所述N个托板相连，并且所述动力源和所述N个托板彼此相向地设置在所述动力联动部件的两侧。
7.根据权利要求2所述的工件定位系统，其特征在于，对于单个所述工件传输带间隙而言，对应于每一个所述工件预定位置，所述工件支撑部均包括至少三个支撑臂。
8.根据权利要求7所述的工件定位系统，其特征在于，所述工件传输带的数量为2，对应于每一个所述工件预定位置，所述工件支撑部均包括至少三个支撑臂，并且在每一个所述支撑臂上均开设有与所述吸片气路相连的气孔。
9.根据权利要求2-8中任意一项所述的工件定位系统，其特征在于，至少是对应于同一个工件预定位置的所述工件支撑部连接至同一个动力源。
10.根据权利要求1所述的工件定位系统，其特征在于，所述动力源包括气缸、液压缸或电机。
11.根据权利要求1所述的工件定位系统，其特征在于，还包括位置传感器，其对应于所述工件预定位置而设置且与所述控制模块相连，用于检测所述工件是否传输到所述工件预定位置，并将检测结果传输至所述控制模块。
全文摘要
本发明提供一种工件定位系统，其包括M条彼此平行设置的工件传输带、工件支撑部、控制模块、吸片气路和动力源。其中，工件支撑部对应于工件传输带间隙设置，其宽度小于工件传输带间隙的宽度，且其在工件传输带间隙所在平面上的正投影嵌在工件传输带间隙中，在工件支撑部上对应于工件预定位置开设有气孔；控制模块与吸片气路和动力源相连；片气路连接所述气孔，并在控制模块的控制下吸气或排气，以在气孔处产生用于吸附工件的负压或者用于释放工件的正压；动力源与工件支撑部相连，并在控制模块的控制下向工件支撑部提供使其相对于工件传输带间隙所在平面运动的驱动力。该工件定位系统能够提高工件传送效率以及生产效率，同时还能够减少浪费。
文档编号C23C16/458GK103160804SQ20111041221
公开日2013年6月19日 申请日期2011年12月12日 优先权日2011年12月12日
发明者张孟湜 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司