技术编号:3376368
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般性涉及薄膜器件和元件,例如电子发光显示器、传感器阵列和其它电子器件、环境阻隔层、光学薄膜层,其中薄膜层通过气相沉积尤其是大气压力下的原子层沉积形成。特别地,本发明涉及可用于电子设备尤其是显示器中用来改善光输出和寿命的薄膜材料层如光学涂层、彩色滤光层和保护薄膜材料层的制造方法。背景技术膜材料用于多种应用。实例包括研究、开发和生产应用,尤其在化合物半导体、显示器、LED、光学元件和眼科设备等领域。薄膜材料也常用于生产用于传感器、平板显示器、 微机电系...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。