技术编号:33798742
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及研磨液回收技术领域,具体为一种研磨液回收利用设备。背景技术.经检索,中国专利申请号为cn.的专利公开一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置,包括研磨液过滤罐、循环供应罐和设置在循环供应罐内的供应泵,供应泵通过带有控制阀的供液管将循环供应罐内的研磨液输送给研磨机,研磨机排出的研磨液流入研磨液过滤罐中,且研磨液过滤罐的罐口处设置有过滤研磨液的过滤网,所述循环供应罐内还设置有用于将研磨液过滤罐内经过过滤的研磨液吸入到循环供应罐内并进行搅拌混合的搅拌泵。.上述...
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