一种研磨液回收利用设备的制作方法

本技术涉及研磨液回收，具体为一种研磨液回收利用设备。

背景技术：

1、经检索，中国专利申请号为cn201520357281.6的专利公开一种硅单晶片研磨用的研磨液回收装置，包括研磨液过滤罐、循环供应罐和设置在循环供应罐内的供应泵，供应泵通过带有控制阀的供液管将循环供应罐内的研磨液输送给研磨机，研磨机排出的研磨液流入研磨液过滤罐中，且研磨液过滤罐的罐口处设置有过滤研磨液的过滤网，所述循环供应罐内还设置有用于将研磨液过滤罐内经过过滤的研磨液吸入到循环供应罐内并进行搅拌混合的搅拌泵。

2、上述专利将使用过的研磨液过滤后与循环供应罐内的研磨液混合后再次使用，从而实现了研磨液的重复利用，降低研磨液的使用成本，但是其中使用时，过滤网和研磨液过滤罐的顶部没有设计防护，可能会引入外界异物，而且过滤网和研磨液过滤罐一般使用卡接方式，利用过盈配合固定，固定不够稳定，若卡合过紧，又不便拆下清理，针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种研磨液回收利用设备，以解决上述问题。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型公开了一种研磨液回收利用设备，该装置在进行使用时，设置的承载台实现对研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩的安装限位，通过防护罩来实现对研磨液过滤盒和过滤网的防护，避免外界异物进入，另外，设置的锁紧机构使得研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩拆装方便，因此对装置清理方便，而且固定时保持固定稳定，满足使用需求。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种研磨液回收利用设备，包括循环供应罐顶板，所述循环供应罐顶板上固定连接有承载台，所述承载台的内部活动卡接有研磨液过滤盒；

5、所述研磨液过滤盒的内部活动卡接有过滤网卡位架；

6、所述过滤网卡位架上固定连接有过滤网；

7、所述承载台的内腔中活动卡接有防护罩；

8、所述承载台的侧面设有锁紧机构，所述锁紧机构用于对研磨液过滤盒、过滤网卡位架和防护罩固定，所述锁紧机构包括固定柱、滑动板和锁紧杆。

9、优选的，所述固定柱固定连接在承载台上，所述滑动板滑动连接在固定柱上，所述锁紧杆固定连接在滑动板上；

10、所述研磨液过滤盒上开设有第一锁紧孔；

11、所述过滤网卡位架上开设有第二锁紧孔；

12、所述防护罩上开设有第三锁紧孔；

13、所述锁紧杆活动卡接在第三锁紧孔、第一锁紧孔和第二锁紧孔内。

14、优选的，所述固定柱上固定连接有固定板，所述固定板上固定连接有螺母座，所述螺母座的内部螺纹连接有丝杆；

15、所述丝杆与滑动板转动连接。

16、优选的，所述研磨液过滤盒的底部设有橡胶套，所述橡胶套内活动卡接有水泵连接管。

17、优选的，所述防护罩的顶部固定连接有研磨液回流管。

18、优选的，所述丝杆上固定连接有转动把手。

19、本实用新型公开了一种研磨液回收利用设备，其具备的有益效果如下：

20、1、该研磨液回收利用设备，在进行使用时，设置的承载台实现对研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩的安装限位，通过防护罩来实现对研磨液过滤盒和过滤网的防护，避免外界异物进入，另外，设置的锁紧机构使得研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩拆装方便，因此对装置清理方便，而且固定时保持固定稳定，满足使用需求。

21、2、该研磨液回收利用设备，设置的丝杆方便实现对滑动板进行推动，进而实现对锁紧杆的位置进行调节，使得锁紧杆对研磨液过滤盒、过滤网卡位架和防护罩的锁定和解锁方便。

技术特征：

1.一种研磨液回收利用设备，包括循环供应罐顶板(1)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的一种研磨液回收利用设备，其特征在于：所述固定柱(701)固定连接在承载台(2)上，所述滑动板(705)滑动连接在固定柱(701)上，所述锁紧杆(706)固定连接在滑动板(705)上；

3.根据权利要求2所述的一种研磨液回收利用设备，其特征在于：所述固定柱(701)上固定连接有固定板(702)，所述固定板(702)上固定连接有螺母座(703)，所述螺母座(703)的内部螺纹连接有丝杆(704)；

4.根据权利要求1所述的一种研磨液回收利用设备，其特征在于：所述研磨液过滤盒(3)的底部设有橡胶套(302)，所述橡胶套(302)内活动卡接有水泵连接管(303)。

5.根据权利要求1所述的一种研磨液回收利用设备，其特征在于：所述防护罩(6)的顶部固定连接有研磨液回流管(602)。

6.根据权利要求3所述的一种研磨液回收利用设备，其特征在于：所述丝杆(704)上固定连接有转动把手。

技术总结
本技术公开一种研磨液回收利用设备，涉及研磨液回收领域。该研磨液回收利用设备包括循环供应罐顶板，所述循环供应罐顶板上固定连接有承载台，所述承载台的内部活动卡接有研磨液过滤盒。该研磨液回收利用设备在进行使用时，设置的承载台实现对研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩的安装限位，通过防护罩来实现对研磨液过滤盒和过滤网的防护，避免外界异物进入，另外，设置的锁紧机构使得研磨液过滤盒、过滤网卡位架、过滤网和防护罩拆装方便，因此对装置清理方便，而且固定时保持固定稳定，满足使用需求。

技术研发人员：罗保兴
受保护的技术使用者：上海吉啸电子科技有限公司
技术研发日：20230105
技术公布日：2024/1/12