技术编号:3379892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种表面处理装置,尤其是一种表面薄膜激光沉积装置。 背景技术进行表面镀膜的处理(例如表面光学薄膜的镀膜),通常是采用如图1的装置完成的其中1是蒸镀材料,2是装有蒸镀材料的坩埚,3是用于加热产生电子束的加热丝,4是蒸镀材料的蒸汽,5是使蒸汽部分离子化的离子化丝,6是用于阻挡加热丝及离子化丝热量外溢的隔热板,7是被蒸镀表面,8是真空容器。然而上述装置存在下述问题,即由于加热丝和离子化丝产生高温往往会导致加热丝和离子化丝构成材料的一部分蒸发,并混入...
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