专利名称：一种表面薄膜激光沉积装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种表面处理装置，尤其是一种表面薄膜激光沉积装置。
背景技术：
进行表面镀膜的处理(例如表面光学薄膜的镀膜)，通常是采用如图1的装置完成的其中1是蒸镀材料，2是装有蒸镀材料的坩埚，3是用于加热产生电子束的加热丝，4是蒸镀材料的蒸汽，5是使蒸汽部分离子化的离子化丝，6是用于阻挡加热丝及离子化丝热量外溢的隔热板，7是被蒸镀表面，8是真空容器。然而上述装置存在下述问题，即由于加热丝和离子化丝产生高温往往会导致加热丝和离子化丝构成材料的一部分蒸发，并混入蒸镀材料的蒸汽中成为杂质，从而最终造成功能薄膜纯度降低，影响成膜质量。
发明内容本实用新型的目的即在于提供一种能够有效防止蒸镀材料的蒸汽中混入杂质的表面沉积装置。本实用新型所采用的技术方案如下一种表面薄膜激光沉积装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，所述激光辐照器通过控制器与置于真空容器外的激光发生器相连，所述控制器控制所述激光辐照器上下转动，在坩埚与被沉积基板之间设置用于施加加速离子化蒸汽的直流电压的电源。本实用新型的有益效果是，由于采用了激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题；同时，由于激光束必然会辐照到蒸镀材料的蒸汽，从而使部分蒸汽离子化，也即激光辐照器同时发挥了加热蒸镀材料和离子化蒸镀材料蒸汽的双重作用；控制器控制激光辐照器上下转动，从而使得辐照范围更广，蒸镀材料蒸发更为充分；设置了加速电源可以加速离子化蒸汽从而提高沉积效率。
图1是现有表面镀膜装置的结构示意图；图2是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图2，详细描述本实用新型的表面薄膜激光沉积装置，其具有真空容器 9，内置于真空容器9中的用于容纳蒸镀材料10的坩埚11，用于产生照射并加热蒸镀材料 10的激光束12的激光辐照器13，所述激光辐照器通过控制器14与置于真空容器外的激光发生器15相连，所述控制器14控制所述激光辐照器13上下转动，在坩埚11与被沉积基板16之间设置用于施加加速离子化蒸汽的直流电压的电源17。
权利要求1. 一种表面薄膜激光沉积装置，其具有真空容器，内置于真空容器中的用于容纳蒸镀材料的坩埚，用于产生照射并加热蒸镀材料的激光束的激光辐照器，所述激光辐照器通过控制器与置于真空容器外的激光发生器相连，所述控制器控制所述激光辐照器上下转动， 在坩埚与被沉积基板之间设置用于施加加速离子化蒸汽的直流电压的电源。
专利摘要一种表面薄膜激光沉积装置，由于其采用了激光辐照器作为加热源，从而避免了现有的以加热丝作为加热源产生的加热源材料蒸发进入蒸镀材料蒸汽中成为杂质的问题；同时，由于激光束必然会辐照到蒸镀材料的蒸汽，从而使部分蒸汽离子化，也即激光辐照器同时发挥了加热蒸镀材料和离子化蒸镀材料蒸汽的双重作用；控制器控制激光辐照器上下转动，从而使得辐照范围更广，蒸镀材料蒸发更为充分；设置了加速电源可以加速离子化蒸汽从而提高沉积效率。
文档编号C23C14/28GK202099373SQ20112014455
公开日2012年1月4日 申请日期2011年5月6日 优先权日2011年5月6日
发明者倪杨 申请人:宁波表面工程研究中心