技术编号:3380353
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学机械研磨工艺,尤其涉及。 背景技术化学机械研磨机台每运作一段时间都需要执行一次常规维护,该维护过程包括依次执行的研磨消耗品更换与维护、新研磨垫磨合(new pad break-in)以 及刷子磨合(brush break-in )。新研磨垫磨合步骤在研磨模块上执行,采用研磨垫调节器(pad conditioner) 在研磨垫的边缘和中心位置之间做往复运动来完成,该磨合步骤大约花费30分 钟。完成研磨垫磨合后,再进行刷子磨合,刷子磨合步骤在机台...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。