技术编号:3382236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种扩展电阻探针测试设备,具体涉及一种用于SRP系统研磨机的研磨夹具。背景技术扩展电阻探针(Spreading Resistance ftOber,SRP)是半导体工艺中常用的监控和失效分析设备,它可以用于测量电阻率和载流子浓度,以确定注入扩展状况、结深状况。 它通过两根针在磨出斜面的样品上接触,测出两针间的电阻值,该电阻值经过校准曲线转换为电阻率和载流子浓度,而针所处的位置,通过角度及距离换算,得到针对应位置的深度值,以上数据综合,就可得到...
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