专利名称：用于srp系统研磨机的研磨夹具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种扩展电阻探针测试设备，具体涉及一种用于SRP系统研磨机的研磨夹具。
背景技术：
扩展电阻探针(Spreading Resistance ftOber，SRP)是半导体工艺中常用的监控和失效分析设备，它可以用于测量电阻率和载流子浓度，以确定注入扩展状况、结深状况。 它通过两根针在磨出斜面的样品上接触，测出两针间的电阻值，该电阻值经过校准曲线转换为电阻率和载流子浓度，而针所处的位置，通过角度及距离换算，得到针对应位置的深度值，以上数据综合，就可得到样品的电阻率或载流子浓度的深度分布曲线。SSM Nano SRP2000是目前较新型的SRP系统，它配备的样品制备设备的型号为 J90研磨机。SRP系统的样品制备方法是，将样品粘附到底座，再将底座固定在夹具上，将样品磨出指定的角度。当样品磨到一定程度时，常常需要取下带有样品的底座，然后查看样品的表面粗糙度和斜面长度情况。如果这两个指标不符合要求，必须将带有样品的底座重新装回夹具再继续研磨。将底座装回夹具时，两者间的相对位置完全一致时，后续的研磨将在原斜面的基础上继续进行，但实际情况是二者的相对位置只能靠目测来判断，往往会出现偏差，这导致后续的研磨并不在原斜面上继续进行，而是产生新的斜面，相当于制样过程从头开始，严重影响了分析速度。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于SRP系统研磨机的研磨夹具，它可以保证对同一样品的多次研磨都在同一个斜面进行，极大地加快样品的制备速度。为解决上述技术问题，本实用新型用于SRP系统研磨机的研磨夹具的技术解决方案为包括套筒、研磨座、螺钉、研磨头；研磨座设置于套筒内，研磨座底部设置研磨头， 研磨头通过螺钉与研磨座固定连接；所述研磨头包括圆柱形基座，基座上设置有三个突出的锯齿，锯齿的高度方向延伸至基座的底面；所述研磨座的底面设置有凹槽，凹槽的形状与所述研磨头的底面相配合。所述研磨座的凹槽与所述研磨头之间设有间隙。所述基座的顶端为两个相交的斜面。所述三个锯齿相对于研磨头的旋转中心均勻分布。 所述三个锯齿与基座为一体成型。所述圆柱形基座的直径为2. 2厘米，高度为0. 6厘米。所述锯齿的底面长为0. 5厘米，底面宽为0. 5厘米，高度为0. 3厘米。所述研磨座的外径为3. 4厘米。
3[0015]所述研磨座的凹槽深度为0. 3厘米。本实用新型可以达到的技术效果是本实用新型能够确保对同一样品进行多次研磨制样时，都能得到同一个研磨斜面，从而提高分析速度和效率。
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明
图1是本实用新型用于SRP系统研磨机的研磨夹具的示意图；图2是本实用新型的研磨头的示意图；图3是图2的俯视图；图4是图2的仰视图；图5是本实用新型的研磨座的底面示意图。图中附图标记说明1为套筒，2为研磨座，3为螺钉，4为研磨头，10为样品，41为基座，411、412为斜面， 42为锯齿。
具体实施方式
如
图1所示，本实用新型用于SRP系统研磨机的研磨夹具，包括套筒1、研磨座2、 螺钉3、研磨头4 ；研磨座2设置于套筒1内，研磨座2底部设置研磨头4，研磨头4通过螺钉3与研磨座2固定连接；如图2、图3、图4所示，研磨头4包括圆柱形基座41，基座41的顶端为两个相交的斜面411、412 ；基座41上设置有三个突出的锯齿42，三个锯齿42相对于研磨头4的旋转中心均勻分布，即三个锯齿42的相隔角度为120度；锯齿42的高度方向延伸至基座41的底面；三个锯齿42与基座41为一体成型；圆柱形基座41的直径为2. 2厘米，高度为0. 6厘米；锯齿42的底面长为0. 5厘米，底面宽为0. 5厘米，高度为0. 3厘米。如图5所示，研磨座2的底面设置有凹槽，凹槽的形状与研磨头4的底面相配合；研磨座2的外径为3. 4厘米；研磨座2的凹槽深度为0. 3厘米；凹槽的尺寸比研磨头4的底面大0. 05厘米。如凹槽上容纳锯齿42部分的长为0. 55厘米，宽为0. 55厘米；本实用新型的研磨座2上设置有与研磨头4相配合的凹槽，能够实现再制样时的
均一重叠表面处理。本实用新型的研磨头4上设置有三个用于定位和固定的锯齿42，研磨头4嵌套入研磨座2，能够保证样品仍位于夹具的初次研磨位置(包括角度)；从而确保新的研磨仍在原有的斜面上进行，从而加快了样品的制备速度。本实用新型能够制备SRP (扩展电阻探针测试)中所需的样品，用于半导体电阻率的测试，所制备的样品能够获得均一重叠的表面。[0039] 采用本实用新型进行多次研磨处理仍可得到均一的斜面，这可以提升后续电阻率测试的速度和效率，为相关工艺调整的开展、问题的解决尽早提供依据。
权利要求1.一种用于SRP系统研磨机的研磨夹具，包括套筒、研磨座、螺钉、研磨头；研磨座设置于套筒内，研磨座底部设置研磨头，研磨头通过螺钉与研磨座固定连接；其特征在于所述研磨头包括圆柱形基座，基座上设置有三个突出的锯齿，锯齿的高度方向延伸至基座的底面；所述研磨座的底面设置有凹槽，凹槽的形状与所述研磨头的底面相配合。
2.根据权利要求1所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述研磨座的凹槽与所述研磨头之间设有间隙。
3.根据权利要求1所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述基座的顶端为两个相交的斜面。
4.根据权利要求1所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述三个锯齿相对于研磨头的旋转中心均勻分布。
5.根据权利要求1或2或3所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述三个锯齿与基座为一体成型。
6.根据权利要求1所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述圆柱形基座的直径为2. 2厘米，高度为0. 6厘米。
7.根据权利要求1所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述锯齿的底面长为0. 5厘米，底面宽为0. 5厘米，高度为0. 3厘米。
8.根据权利要求1所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述研磨座的外径为3. 4厘米。
9.根据权利要求1所述的用于SRP系统研磨机的研磨夹具，其特征在于所述研磨座的凹槽深度为0. 3厘米。
专利摘要本实用新型公开了一种用于SRP系统研磨机的研磨夹具，包括套筒、研磨座、螺钉、研磨头；研磨座设置于套筒内，研磨座底部设置研磨头，研磨头通过螺钉与研磨座固定连接；所述研磨头包括圆柱形基座，基座上设置有三个突出的锯齿，锯齿的高度方向延伸至基座的底面；所述研磨座的底面设置有凹槽，凹槽的形状与所述研磨头的底面相配合。所述研磨座的凹槽与所述研磨头之间设有间隙。本实用新型能够确保对同一样品进行多次研磨制样时，都能得到同一个研磨斜面，从而提高分析速度和效率。
文档编号B24B37/27GK202192537SQ20112024621
公开日2012年4月18日 申请日期2011年7月13日 优先权日2011年7月13日
发明者孟超, 时俊亮, 赖华平 申请人:上海华虹Nec电子有限公司