技术编号:3384118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种线列式有机金属化合物气相淀积系统[0001]本实用新型涉及一种线列式有机金属化合物气相淀积系统,具体地讲是涉及一种应用于薄膜太阳能电池、平板显示器等领域的TCO玻璃的多片式线列式有机金属化合物气相淀积系统。背景技术[0002]光伏应用的未来市场发展,特别是用于与电网相连的光伏电厂的应用,关键取决于降低太阳能电池生产成本的潜力。薄膜太阳能电池生产过程能耗低,具备大幅度降低原材料和制造成本的潜力;同时,薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电。因此,目前市场对薄...
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