专利名称：一种线列式有机金属化合物气相淀积系统的制作方法
技术领域：
一种线列式有机金属化合物气相淀积系统技术领域[0001]本实用新型涉及一种线列式有机金属化合物气相淀积系统，具体地讲是涉及一种应用于薄膜太阳能电池、平板显示器等领域的TCO玻璃的多片式线列式有机金属化合物气相淀积系统。
背景技术：
[0002]光伏应用的未来市场发展，特别是用于与电网相连的光伏电厂的应用，关键取决于降低太阳能电池生产成本的潜力。薄膜太阳能电池生产过程能耗低，具备大幅度降低原材料和制造成本的潜力；同时，薄膜太阳能电池在弱光条件下仍可发电。因此，目前市场对薄膜太阳能电池的需求正逐渐增长，而制造薄膜太阳能电池的技术更成为近年来的研究热点ο[0003]薄膜太阳能模块是由玻璃基板、金属层、透明导电层、电器功能盒、胶合材料、半导体层等所构成的。其中，在玻璃衬底上沉积透明导电膜的玻璃基板是薄膜太阳能电池的关键核心技术。[0004]近年来，非晶硅薄膜太阳能电池凭借其成本低廉、工艺成熟，应用范围广泛等优势，逐渐从各种类型的薄膜太阳能电池中脱颖而出。非晶硅薄膜太阳能的生产工艺是在低压高温的环境下进行的，而玻璃基板在高温低压的环境的传输过程中容易破碎，因此要一整套稳定的传送系统来保证玻璃的安全传输。整个传输系统的稳定性和高效性是薄膜太阳能电池产能的可靠保证。[0005]如图2所示，现有技术的传输结构是每个平台均为单次单片玻璃传输的结构。其从左至右依次的工作台为加载台、第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台。[0006]其传输过程为玻璃基板通过皮带传输形式的加载台加载到滚轮传输结构的第一承载室中进行预加热处理。玻璃基板在承载室中往复运动以保证获得均勻的加热效果，到达预设温度后玻璃基板通过滚轮传动装置送入所述的多个沉积反应室中，该沉积反应室的传输系统在真空和高温状态下能保证把玻璃稳定的传送至准确的位置，并在工艺开始前收缩到待命位置上，在完成沉积工艺后传输系统伸出至工作位置将玻璃基板通过滚动传输送入第二承载室，玻璃基板在第二承载室中进行冷却，且完成真空和大气之间的工作环境的切换，然后通过皮带传输形式的卸载台卸载。[0007]如上所述的低压化学气相沉积系统，每次只能传送的玻璃基板片数为1片，虽解决传输稳定性的要求，但导致整个系统的产能不能提高。为满足产能提高的需要，现行技术中都是通过增大玻璃基板的面积来实现，但玻璃基板的面积增大会引起膜层均勻性变差，从而导致太阳能组件功率的下降；另一种方法是多购置设备，从而导致极大的增加了生产运营成本，也增大了系统区域的占地面积，不能满足生产运营中的低成本，高产能的要求。目前关于该类低压化学气相沉积系统，玻璃基板每次传送2片或以上的，因其实现难度大，尚未见有报道。发明内容[0008]本实用新型要解决的技术问题是提供一种结构紧凑，成本较低，能够同时传输2 片或2片以上玻璃基板且膜层均勻的线列式有机金属化合物气相淀积系统。[0009]为解决上述技术问题，本实用新型技术方案如下[0010]一种线列式有机金属化合物气相淀积系统，包括用于传输玻璃基板的传输系统和以该传输系统为基座依次分布和连接的装载台、预处理单元、反应单元、后处理单元和卸载台，还包括设于装载台和预处理单元之间的装载缓冲台、设于后处理单元与卸载台之间的卸载缓冲台；同时，在预处理单元、反应单元和后处理单元的传输系统上设有至少两套传输子系统。[0011]其中，装载台、预处理单元、反应单元、后处理单元和卸载台分别对应于现有技术中的加载台、第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室、第二承载室和卸载台，其功能包含了现有技术中各单元的所有功能，且其中预处理单元、反应单元和后处理单元等的面积各自相当于第一承载室、多个低压化学气相沉积反应室、第二承载室的面积的至少二倍。[0012]所述预处理单元之前和后处理单元之后的传输结构为皮带传输结构，所述预处理单元、反应单元和后处理单元的传输子系统为滚轮传输系统。[0013]所述装载台、装载缓冲台、预处理单元、反应单元、后处理单元、卸载缓冲台和卸载台的传输系统分别设有传感单元以及分别与传输系统、传感单元连接的控制单元。控制单元包含传输电机控制模块和传感单元控制模块。传感单元优选为反射型光电传感器，其位置对应于玻璃基板待命位置的前端和/或后端。[0014]特别指出的是预处理单元、反应单元、后处理单元的每套滚轮传输系统均设置传感单元。[0015]所述预处理单元、反应单元和后处理单元的底部或侧壁设有孔，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该孔内；其中，最佳的方案是预处理单元、后处理单元分别在底部和/或侧壁设置5个孔，装载5个传感单元；反应单元包括多个低压化学气相沉积反应室， 两端的反应室在侧壁设置4个孔，装载4个传感单元，中间的反应室可以在侧壁设置3个孔，装载3个传感单元。[0016]装载台、装载缓冲台、卸载缓冲台和卸载台的两侧分别设有支架，依附于对应的传输系统，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该支架上。其中关于支架的设置，最佳的方案是在装载台、装载缓冲台、卸载缓冲台和卸载台两侧设置好的玻璃基板待命位置的前端和后端各设置至少1个支架，装载相应数量的传感单元。[0017]薄膜太阳能电池及其玻璃基板的尺寸是相对固定的规格，所述玻璃基板的大小规格介于 600 X 1200mm 与 3300 X 6000mm 之间，优选为 6;35mmX1245 mm。[0018]上述系统的使用方法如下[0019]玻璃基板置于装载台上，传输系统收到玻璃就位信号，带动玻璃基板向装载缓冲台运动，当玻璃基板被装载缓冲台检测到后，传输系统带动玻璃基板到达装载缓冲台停止位置；在先一片玻璃基板到达装载缓冲台停止位置后，将在后一片玻璃基板置于装载台上， 此时预处理单元门阀打开，两片或多片玻璃分别启动依次传输至预处理单元内；在先一片玻璃经过预处理单元在先一套传输系统时不停止，直至到在后一套传输系统停止位置上才停止，而在后一片玻璃则在预处理单元在先一套传输系统停止位置上停止；当两片或多片玻璃都到达停止位置，传感器触发，加热功能开启，两套或多套滚轮传输系统开始前后旋转，使得玻璃进行往复运动以满足玻璃基板表面加热的均勻性；之后以与进入预处理单元相同的传输方式进入反应单元进行气相沉积反应，再以与进入预处理单元相同的传输方式进入后处理单元冷却，然后依次通过滚轮传输系统传出，在先一片玻璃经过卸载缓冲台时不停止，直至卸载台停止位置停止，在后一片玻璃在卸载缓冲台停止，直到在先一片玻璃基板被取走后，才传输到卸载台停止位置上取走。[0020]本实用新型提供的线列式有机金属化合物气相淀积系统，通过在装载台和预处理单元或后处理单元之间设置缓冲台，同时在预处理单元、反应单元和后处理单元的传输系统上设置多套传输子系统，使得整个系统结构紧凑，成本较低，利用该系统，在保证膜层均勻的前提下，解决了同时传输至少2片玻璃基板的复杂难题，显著提高了产能。本实用新型的技术方案同样可应用于平板显示器以及高层建筑物等领域。
[0021]
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明。[0022]图1是本实用新型的系统结构示意图；[0023]图2是现有技术的系统结构示意图。
具体实施方式
[0024]实施例1[0025]一种线列式有机金属化合物气相淀积系统，如图1所示，包括用于传输玻璃基板的传输系统和以该传输系统为基座依次分布和连接的装载台1、预处理单元、反应单元、后处理单元和卸载台9，还包括设于装载台1和预处理单元之间的装载缓冲台2、设于后处理单元与卸载台之间的卸载缓冲台8 ；同时，在预处理单元、反应单元和后处理单元的传输系统上设有两套传输子系统。[0026]其中，预处理单元为第一承载室3，反应单元为三个低压化学气相沉积反应室4、 5、6，后处理单元为第二承载室7。[0027]所述预处理单元之前和后处理单元之后的传输结构为皮带传输结构，所述预处理单元、反应单元和后处理单元的传输子系统为滚轮传输系统。[0028]所述装载台1、装载缓冲台2、第一承载室3、反应单元、第二承载室7、卸载缓冲台 8和卸载台9的传输系统分别设有传感单元以及分别与传输系统、传感单元连接的控制单元。控制单元包含传输电机控制模块和传感单元控制模块。传感单元为反射型光电传感器， 其位置对应于玻璃基板待命位置的前端和/或后端。[0029]特别指出的是预处理单元、反应单元、后处理单元的每套滚轮传输系统均设置传感单元。[0030]所述第一承载室3、反应单元和第二承载室7的底部或侧壁设有孔，其中，第一承载室3、第二承载室7分别在底部设置5个孔，装载5个传感器；三个低压化学气相沉积反应室中两端的反应室在侧壁设置4个孔，装载4个传感器，中间的反应室在侧壁设置3个孔， 装载3个传感器。传感器通过连接件分别对应固定设置在上述孔内。[0031]装载台1、装载缓冲台2、卸载缓冲台8和卸载台9的两侧分别设有支架，依附于对应的传输系统，传感器通过连接件分别对应固定设置在该支架上。其中关于支架的设置具体为在装载台1、装载缓冲台2、卸载缓冲台8和卸载台9两侧设置好的玻璃基板待命位置的前端和后端各设置1个支架，装载相应数量的传感器。[0032]所述玻璃基板的大小规格为635mmX 1245 mm。[0033]上述系统的使用方法如下玻璃基板置于装载台1上，传输系统收到玻璃就位信号，带动玻璃基板向装载缓冲台2运动，当玻璃基板被装载缓冲台2检测到后，传输系统带动玻璃基板到达装载缓冲台2停止位置；第一片玻璃基板到达装载缓冲台2停止位置后，将第二片玻璃基板置于装载台1上，此时预处理单元门阀打开，两片玻璃分别启动依次传输至第一承载室3内；第一片玻璃经过第一承载室3第一套传输系统时不停止，直至到第二套传输系统停止位置上才停止，而第二片玻璃则在第一承载室3第一套传输系统停止位置上停止；当两片玻璃都到达停止位置，传感器触发，加热功能开启，两套滚轮传输系统开始前后旋转，使得玻璃进行往复运动以满足玻璃基板表面加热的均勻性；之后以与进入第一承载室3相同的传输方式进入低压化学气相沉积反应室4、5、6进行气相沉积反应，再以与进入第一承载室3相同的传输方式进入第二承载室7冷却，然后依次通过滚轮传输系统传出， 第一片玻璃经过卸载缓冲台8时不停止，直至卸载台9停止位置停止，第二片玻璃在卸载缓冲台8停止，直到第一片玻璃基板被取走后，才传输到卸载台9停止位置上取走。
权利要求1.一种线列式有机金属化合物气相淀积系统，包括用于传输玻璃基板的传输系统和以该传输系统为基座依次分布和连接的装载台、预处理单元、反应单元、后处理单元和卸载台，其特征在于还包括设于装载台和预处理单元之间的装载缓冲台、设于后处理单元与卸载台之间的卸载缓冲台；同时，在预处理单元、反应单元和后处理单元的传输系统上设有至少两套传输子系统。
2.根据权利要求1所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元和后处理单元的传输子系统为滚轮传输系统。
3.根据权利要求1或2所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述装载台、装载缓冲台、预处理单元、反应单元、后处理单元、卸载缓冲台和卸载台的传输系统分别设有传感单元以及分别与传输系统、传感单元连接的控制单元。
4.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述传感单元的位置对应于玻璃基板待命位置的前端和/或后端。
5.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述控制单元包含传输电机控制模块和传感单元控制模块。
6.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元、后处理单元的每套滚轮传输系统均设置传感单元。
7.根据权利要求3所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述预处理单元、反应单元和后处理单元的底部或侧壁设有孔，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该孔内；装载台、装载缓冲台、卸载缓冲台和卸载台的两侧分别设有支架，传感单元通过连接件分别对应固定设置在该支架上。
8.根据权利要求1所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述玻璃基板的大小规格介于600 X 1200mm与3300 X 6000mm之间。
9.根据权利要求8所述的线列式有机金属化合物气相淀积系统，其特征在于所述玻璃基板的大小规格为635mmX1245 mm。
专利摘要本实用新型涉及一种线列式有机金属化合物气相淀积系统，具体地讲是涉及一种应用于薄膜太阳能电池、平板显示器等领域的TCO玻璃的多片式线列式有机金属化合物气相淀积系统。它包括用于传输玻璃基板的传输系统和以该传输系统为基座依次分布和连接的装载台、预处理单元、反应单元、后处理单元和卸载台，还包括设于装载台和预处理单元之间的装载缓冲台、设于后处理单元与卸载台之间的卸载缓冲台；同时，在预处理单元、反应单元和后处理单元的传输系统上设有至少两套传输子系统。本实用新型的系统结构紧凑，成本较低，利用该系统，在保证膜层均匀的前提下，解决了同时传输至少2片玻璃基板的复杂难题，显著提高了产能。
文档编号C23C16/18GK202246847SQ20112033803
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月9日 优先权日2011年9月9日
发明者吴国发, 崔军, 杨武斌, 王奇, 辛科 申请人:汉能科技有限公司