拆卸工具和化学气相淀积装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种拆卸工具和化学气相淀积装置。
【背景技术】
[0002]LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposit1n)即低压力化学气相沉积，其广泛用于氧化硅、氮化物、多晶硅沉积，过程在管炉中执行，也要求相当高的温度。
[0003]现有的LPCVD机台如图1所示，包括底座3和反应腔室2，在反应腔室2中具有喷嘴1，用于将LPCVD所需的反应气体通入反应腔室2。当需要对晶圆4进行LPCVD工艺时，承载晶圆4的底座3向上运动(箭头f方向)，将晶圆4送入反应腔室2中，并通过底座3密封住反应腔室2 ;之后，喷嘴1向反应腔室2中通入反应气体。
[0004]在LPCVD多晶硅薄膜淀积工艺中，常需要定期进行喷嘴1的保养，即对喷嘴1进行定期更换以防止断裂。但是在沉积多晶硅的工艺中，为了不产生多晶硅薄膜的剥落，通常需要在摄氏300度以上的高温下作业。这就对更换的人员造成了安全上的隐患。因此，如何降低更换人员由于高温的影响带来的安全风险，成为一个重要的课题。
[0005]现有的喷嘴1的定期更换方法是，安装人员站在反应腔室2的下方进行喷嘴1的拆除和安装，这样面会面临诸多风险。例如，反应腔室2内的高温会向下辐射导致作业人员不能长时间站立在反应腔室2的下面，站立时间久有可能被烫伤；另外，作业时有可能会被拆除下来的喷嘴1砸伤或烫伤。
[0006]目前，安装人员在对LPCVD的喷嘴1进行保养的时候，普遍的做法是手上戴隔热手套进行拆除和安装，但是隔热手套只能保护手部不会被烫伤，并不能保障身体的安全。
【实用新型内容】
[0007]为了解决现有技术中的问题，本实用新型提供一种拆卸工具，包括支撑轴、设置于所述支撑轴上的移动装置以及设置于所述移动装置上的夹持件，待拆卸物体通过所述夹持件夹持并拆卸，所述夹持件由所述移动装置带动，以移动至所述待拆卸物体。
[0008]可选的，所述移动装置包括垂直移动件、水平移动件以及转动件，所述夹持件设置于所述转动件上；
[0009]其中，所述垂直移动件设置于所述支撑轴上，并沿所述支撑轴上下移动；
[0010]所述水平移动件设置于所述垂直移动件上，并在所述垂直移动件上水平移动；
[0011 ] 所述转动件设置于所述水平移动件上，并绕所述水平移动件转动。
[0012]可选的，所述转动件包括轴承、竖杆和横杆，所述轴承固定于所述水平移动件上，所述竖杆固定于所述轴承上以绕所述水平移动件转动，所述横杆的一端连接所述竖杆，另一端连接所述夹持件。
[0013]可选的，所述转动件包括多个互相平行的横杆。
[0014]可选的，所述横杆垂直连接所述竖杆。
[0015]可选的，所述夹持件包括用于夹持所述待拆卸物体的上锁解锁装置与用于探测夹持压力的压力传感器，根据所述压力传感器的探测结果控制所述上锁解锁装置。
[0016]可选的，所述夹持件为耐高温夹持件。
[0017]可选的，所述的拆卸工具还包括控制器，所述控制器与所述移动装置信号连接，用于控制所述移动装置的运动。
[0018]本实用新型还提供一种化学气相淀积装置，包括喷嘴、反应腔室和承载台，所述承载台用于将待处理晶圆送入所述反应腔室，并密封所述反应腔室，所述化学气相淀积装置还包括:
[0019]上述的拆卸工具，用于拆卸所述喷嘴，所述拆卸工具的所述支撑轴固定于所述承载台上。
[0020]可选的，上述化学气相淀积装置还包括销键，贯穿并固定所述支撑轴与所述承载台。
[0021]本实用新型提供的拆卸工具包括支撑轴、设置于所述支撑轴上的移动装置以及设置于所述移动装置上的夹持件，待拆卸物体通过所述夹持件夹持并拆卸，所述夹持件由所述移动装置带动，以移动至所述待拆卸物体。上述各部分的配合工作能够很方便地实现物体的拆卸。将上述拆卸工具应用至化学气相淀积机台中，本实用新型还提供了一种化学气相淀积装置，可以避免人工拆卸喷嘴带来的被砸伤或烫伤的危险。
【附图说明】
[0022]图1为现有技术中LPCVD装置的结构示意图；
[0023]图2为本实用新型一实施例所述拆卸工具的结构示意图；
[0024]图3为本实用新型一实施例所述拆卸工具中夹持件的结构示意图；
[0025]图4为本实用新型一实施例所述化学气相淀积装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0026]以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0027]本实用新型的拆卸工具如图2所示，包括支撑轴100、设置于所述支撑轴100上的移动装置200以及设置于所述移动装置200上的夹持件300，待拆卸物体10通过所述夹持件300夹持并拆卸，所述夹持件300由所述移动装置200带动，以移动至所述待拆卸物体10。使用所述拆卸工具时，首先固定所述支撑轴100，然后控制移动装置200运动，带动所述夹持件300靠近待拆卸物体10，再通过夹持件300拆卸所述待拆卸物体10即可。
[0028]请继续参照图2，优选方案中，所述移动装置200包括垂直移动件210、水平移动件220以及转动件230，所述夹持件300设置于所述转动件230上。
[0029]其中，所述垂直移动件210设置于所述支撑轴100上，以沿所述支撑轴100上下移动(箭头a)。具体的，垂直移动件210包括平板211和滑动部212，滑动部212环绕支撑轴100设置并能够沿支撑轴100上下移动，而平板211连接滑动部212，随着滑动部212的上下滑动而带动平板211上下移动。通过垂直移动件210可以调整移动装置200的整体高度。
[0030]所述水平移动件220设置于所述垂直移动件210上，以在所述垂直移动件210上水平移动(箭头b)。在本实施例中，水平移动键220设置于垂直移动件210的平板211上。在垂直移动件210通过移动调整好高度以后，水平移动件220在平板211上左右滑动，以调整移动装置200整体到待拆卸物体10的距离。
[0031]所述转动件230设置于所述水平移动件220上，以绕所述水平移动件220转动(箭头c)。在本实施例中，转动件230包括轴承231、竖杆232和横杆233，所述轴承231固定于所述水平移动件220上，所述竖杆232固定于所述轴承231上以绕所述水平移动件220转动。具体的，轴承231环绕设置在水平移动件22