金属有机化学气相沉积装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及的是化学设备技术领域，具体涉及一种金属有机化学气相沉积装置。
【背景技术】
[0002]纳米粉末Ti02是有效的光催化剂，但存在回收困难、分散性差、颗粒易团聚等问题，极大地限制了其在废水处理中的实际应用。传统的光催化剂的制备设备不能有效地解决上述问题，因此需要一种新型的制备这种催化剂的设备，以便解决现有存在的问题。
【发明内容】
[0003]为解决上述问题，本发明提供了一种金属有机化学气相沉积装置，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好，实用性强。
[0004]为实现上述目的，本发明采取的技术方案为:
[0005]金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器、干燥器、阀门、第一煅烧器、第二煅烧器、第一石英反应器、第二石英反应器和冷凝管，氮气容器通过干燥器连接至第一石英反应器，干燥器通过阀门连接至第二石英反应器，第一石英反应器、第二石英反应器分别放置在第一煅烧器、第二煅烧器内，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内分别放置有TOBT6和活性炭，第二石英反应器与冷凝管相连，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50%?60%，二氧化硅0.5%?5%，红柱石10%?15%，硅线石10%?15%，三氧化二铁0.3%?0.5%，另外加入占原材料总重3%?10%的添加剂，所述第一石英反应器、第二石英反应器的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化镧、氧化铍、氧化钙、氧化锆、氧化铀、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中至少一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。
[0006]作为优选，所述的干燥器采用硅胶干燥器。
[0007]作为优选，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55%，二氧化硅2.75%,红柱石12.5%，硅线石12.5%，三氧化二铁0.4%，另外加入占原材料总重6.5%的添加剂。
[0008]作为优选，所述第一煅烧器、第二煅烧器内设有温度传感器。
[0009]作为优选，所述第一石英反应器、第二石英反应器内设有温度传感器。
[0010]作为优选，所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端
[0011]本发明具有以下有益效果:
[0012]本发明采用MVCOD装置来制取催化剂，其制得的催化剂的催化效果好，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好，远红外辐射涂料的设置，改善了煅烧器内的热交换、提高煅烧器内温度场强及均匀性、使燃料燃烧更充分，达到增加热效率，大大提高耐火材料热效率，减少能耗、节约能源和延长煅烧器内衬使用年限，节能率高。
【附图说明】
[0013]图1为本发明实施例金属有机化学气相沉积装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0014]为了使本发明的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0015]如图1所示，本发明实施例提供了一种金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器1、干燥器2、阀门3、第一煅烧器4、第二煅烧器5、第一石英反应器7、第二石英反应器8和冷凝管10，氮气容器I通过干燥器2连接至第一石英反应器7，干燥器2通过阀门3连接至第二石英反应器8，第一石英反应器7、第二石英反应器8分别放置在第一煅烧器4、第二煅烧器5内，所述的第一煅烧器4、第二煅烧器5内分别放置有TOBT6和活性炭9，第二石英反应器8与冷凝管10相连，所述的第一煅烧器4、第二煅烧器5内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50%?60%，二氧化硅0.5%?5%，红柱石10%?15%，硅线石10%?15%，三氧化二铁0.3%?0.5%，另外加入占原材料总重3%?10%的添加剂，所述第一石英反应器7、第二石英反应器8的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化镧、氧化铍、氧化钙、氧化锆、氧化铀、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中至少一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。
[0016]所述的干燥器2采用硅胶干燥器。
[0017]所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55 %，二氧化硅2.75 %，红柱石12.5%，硅线石12.5%，三氧化二铁0.4%，另外加入占原材料总重6.5%的添加剂。
[0018]所述第一煅烧器4、第二煅烧器5内设有温度传感器。
[0019]所述第一石英反应器7、第二石英反应器8内设有温度传感器。
[0020]所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端
[0021]实施例1
[0022]本实施例采用上述设备制备催化剂，其制备流程为:将5.0g颗粒状活性炭AC，40-60mesh，在373K温度下的6.0mol.Ι^ΗΝ03中煮沸Ih以生成羟基，然后用去离子水洗净，干燥后放入石英反应器中，在373Κ用干燥Ν2去水干燥15分钟；ΤΒ0Τ/Ν2混合物在298Κ条件下反应2-12h ;向反应器中通干燥Ν230分钟以除去反应器中残留的部分前驱物；最后在氮气保护下煅烧3h，经检测其光催化剂的催化效果好。
[0023]以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，包括氮气容器(1)、干燥器(2)、阀门(3)、第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)、第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)和冷凝管(10)，氮气容器(I)通过干燥器(2)连接至第一石英反应器(7)，干燥器(2)通过阀门(3)连接至第二石英反应器(8)，第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)分别放置在第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内，所述的第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内分别放置有TOBT(6)和活性炭(9)，第二石英反应器(8)与冷凝管(10)相连，所述的第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料50%?60%，二氧化硅0.5%?5%，红柱石10%?15%，硅线石10%?15%，三氧化二铁0.3%?0.5%，另外加入占原材料总重3%?10%的添加剂，所述第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)的外壁上均设有耐磨涂层，所述耐磨涂层为氧化铝、氧化镧、氧化铍、氧化钙、氧化锆、氧化铀、氧化镁、氧化铈、氧化钍、二氧化硅和二氧化钛中至少一种氧化物粉末，或者两种或两种以上氧化物粉末的混合物。
2.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述的干燥器(2)采用硅胶干燥器。
3.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述耐火层以重量百分比表示，原料中含有高铝料55%，二氧化硅2.75%，红柱石12.5%，硅线石12.5%,三氧化二铁0.4%，另外加入占原材料总重6.5%的添加剂。
4.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一煅烧器(4)、第二煅烧器(5)内设有温度传感器。
5.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述第一石英反应器(7)、第二石英反应器(8)内设有温度传感器。
6.根据权利要求1所述的金属有机化学气相沉积装置，其特征在于，所述温度传感器内设有蓝牙模块，所述温度传感器通过蓝牙连接有移动终端。
【专利摘要】本发明公开了一种金属有机化学气相沉积装置，包括氮气容器、干燥器、阀门、第一煅烧器、第二煅烧器、第一石英反应器、第二石英反应器和冷凝管，氮气容器通过干燥器连接至第一石英反应器，干燥器通过阀门连接至第二石英反应器，第一石英反应器、第二石英反应器分别放置在第一煅烧器、第二煅烧器内，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内分别放置有TOBT6和活性炭，第二石英反应器与冷凝管相连，所述的第一煅烧器、第二煅烧器内均设有耐火层和蓄热层，所述蓄热层内壁上均涂抹有远红外辐射涂料。发明采用MVCOD装置来制取催化剂，其制得的催化剂的催化效果好，既可提高光催化的效率，又可分离回收光催化剂，使用效果好。
【IPC分类】C23C16-40, C23C16-44
【公开号】CN104561931
【申请号】CN201510043159
【发明人】宋志国, 曹春艳, 万鑫, 赵爽
【申请人】渤海大学
【公开日】2015年4月29日
【申请日】2015年1月25日