技术编号：3384202
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及机械动作自动控制装置领域，尤其是涉及一种管式PECVD防炉门砸舟装置。背景技术现有的 PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition，等离子体增强化学气相沉积法)设备，无论进舟还是出舟，只要桨达到后限位，炉门就会关闭，由于现有技术缺乏检测石墨舟是否在正确位置的装置及程序，若是发生了拖舟的情况，炉门自动关闭就会砸坏石墨舟，造成一定的经济损失，且再制作石墨舟还需要花费较长时间。因此需要一种装置，能...
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