专利名称：一种管式pecvd防炉门砸舟装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及机械动作自动控制装置领域，尤其是涉及一种管式PECVD防炉门砸舟装置。
背景技术：
现有的 PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor D印osition，等离子体增强化学气相沉积法)设备，无论进舟还是出舟，只要桨达到后限位，炉门就会关闭，由于现有技术缺乏检测石墨舟是否在正确位置的装置及程序，若是发生了拖舟的情况，炉门自动关闭就会砸坏石墨舟，造成一定的经济损失，且再制作石墨舟还需要花费较长时间。因此需要一种装置，能够防止石墨舟被砸坏，减少厂家的经济损失。
实用新型内容本实用新型是为了解决目前PECVD设备若是发生了拖舟的情况，炉门自动关闭就会砸坏石墨舟的问题，为此提供了一种管式PECVD防炉门砸舟装置，包括炉体，所述炉体主要包含有炉门1、内炉壁4和外炉壁，所述炉体内设有石墨舟2和浆3，所述石墨舟2位于浆 3上，所述炉门1区域设有检测石墨舟的第一光电开关5，浆3的前端和末端分别设有第二光电开关6和第三光电开关7，内炉壁4上设有第四光电开关8，炉门1外的外炉壁上加设有一个确认按钮。本实用新型管式PECVD防炉门砸舟装置，所述第一光电开关5、第二光电开关6、第三光电开关7和第四光电开关8均与工控机连接。本实用新型的工作流程为1、第一光电开关检测无舟；2、出舟时，第二、第三光电开关结合确认舟的正确位置；3、浆到达后限位(即第四光电开关检测有效)；4、人工按下确认按钮。本实用新型的有益效果是由于加设了四个光电开关来检测石墨舟的具体位置，且需要人工按下确认按钮才能关闭炉门，因此当发生拖舟情况时，可保证炉门不会自动关闭，石墨舟也不会被砸坏。
本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明，其中图1是本实用新型的示意图。
具体实施方式
本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。如图1所示的管式PECVD防炉门砸舟装置，包括炉体，所述炉体主要包含有炉门1、 内炉壁4和外炉壁，所述炉体内设有石墨舟2和浆3，所述石墨舟2位于浆3上，所述炉门1 区域设有检测石墨舟的第一光电开关5，浆3的前端和末端分别设有第二光电开关6和第三光电开关7，内炉壁4上设有第四光电开关8，所述第一光电开关(5)、第二光电开关(6)、 第三光电开关(7)和第四光电开关(8)均与工控机连接，炉门1外的外炉壁上加设有一个确认按钮，将原有的PLC和工控机程序作适当修改，操作如下1、第一光电开关检测无舟；2、 出舟时，第二、第三光电开关结合确认舟的正确位置；3、浆到达后限位(即第四光电开关检测有效)；4、人工按下确认按钮，当发生拖舟情况时，可保证炉门不会自动关闭，石墨舟也不会被砸坏。本实用新型并不局限于前述的具体实施方式
。本实用新型扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组
I=I O
权利要求1.一种管式PECVD防炉门砸舟装置，包括炉体，所述炉体主要包含有炉门(1 )、内炉壁(4)和外炉壁，所述炉体内设有石墨舟(2)和浆(3)，所述石墨舟(2)位于浆(3)上，其特征是所述炉门(1)区域设有检测石墨舟的第一光电开关(5)，浆(3)的前端和末端分别设有第二光电开关(6)和第三光电开关(7)，内炉壁(4)上设有第四光电开关(8)，炉门(1)外的外炉壁上加设有一个确认按钮。
2.根据权利要求1所述的管式PECVD防炉门砸舟装置，其特征是所述第一光电开关(5)、第二光电开关(6)、第三光电开关(7)和第四光电开关(8)均与工控机连接。
专利摘要本实用新型公开了一种管式PECVD防炉门砸舟装置，包括炉体，所述炉体主要包含有炉门(1)、内炉壁(4)和外炉壁，所述炉体内设有石墨舟(2)和浆(3)，所述石墨舟(2)位于浆(3)上，所述炉门(1)区域设有检测石墨舟的第一光电开关(5)，浆(3)的前端和末端分别设有第二光电开关(6)和第三光电开关(7)，内炉壁(4)上设有第四光电开关(8)，炉门(1)外的外炉壁上加设有一个确认按钮。本实用新型在发生拖舟情况时，炉门不会自动关闭，石墨舟也不会被砸坏，减少了厂家的损失。
文档编号C23C16/44GK202226915SQ20112034297
公开日2012年5月23日 申请日期2011年9月14日 优先权日2011年9月14日
发明者周天贤, 胡东明, 陈辉 申请人:江阴鑫辉太阳能有限公司