技术编号：3386274
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种气体处理过滤装置，特别涉及一种化学气相沉积尾气处理装置。技术背景 目前，化学气相沉积过程排出的尾气包括有多种有害气体和热解炭微粒子，直接排向大气将产生大量的环境污染。所以目前国内外均采用一定的过滤装置对其进行处理后再排入大气。而目前大多数厂家采用的方法多是一级过滤罐的过滤方式，处理方法过于简单、效率较低，处理尾气的能力有限，排出的尾气仍含有大量的污染物，所以开发一种更高效、尾气排放物更洁净的过滤装置成为当务之急。实用新型内容本实用新型的目...
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