专利名称：一种化学气相沉积尾气处理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种气体处理过滤装置，特别涉及一种化学气相沉积尾气处理装置。
技术背景 目前，化学气相沉积过程排出的尾气包括有多种有害气体和热解炭微粒子，直接排向大气将产生大量的环境污染。所以目前国内外均采用一定的过滤装置对其进行处理后再排入大气。而目前大多数厂家采用的方法多是一级过滤罐的过滤方式，处理方法过于简单、效率较低，处理尾气的能力有限，排出的尾气仍含有大量的污染物，所以开发一种更高效、尾气排放物更洁净的过滤装置成为当务之急。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构简单、易实现、过滤效果好、使用持久的化学气相沉积炉尾气处理装置。本实用新型的技术方案是处理装置包括一级空气冷却罐、二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐，一级空气冷却罐与化学气相沉积炉之间用密闭金属管道连接，一级空气冷却罐与二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐依次与密闭金属管道连接，一级空气冷却罐、二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐的下方均设有排泄口，每个罐均采用下进气上出气的结构。所述的循环式油过滤罐的上方与循环油泵的出油口相接，循环式油过滤罐的下方与循环油泵的进油口相接。本实用新型结构新颖、设计采用了多个滤罐分开过滤不同的尾气产物，过滤尾气时逐级冷却、不同罐体过滤不同种类的气体和微粒子，该装置功能强大、过滤效果高，使用寿命长，并本装置具有多级过滤体系，即使一级失效，并不影响整体过滤效果。经此设备过滤的化学气相沉积炉排出的尾气可达到排放标准的要求。
图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型用进一步的描述。如图I所示的一种化学气相沉积炉尾气多级处理过滤装置，包括一级空气冷却罐
I、二级空气冷却罐2、循环式油过滤罐3、丝网过滤罐4、活性炭过滤罐5组成。一级空气冷却罐I与化学气相沉积炉6之间用密闭金属管道连接，一级空气冷却罐I与二级空气冷却罐2、循环式油过滤罐3、丝网过滤罐4、活性炭过滤罐5依次密闭金属管道连接，一级空气冷却罐I、二级空气冷却罐2、循环式油过滤罐3、丝网过滤罐4、活性炭过滤罐5的下方均设有排泄口 7，每个罐均采用下进气上出气的结构。安装时，由化学气相沉积炉6引出尾气的管道接在一级空气冷却罐I上，先进行一次尾气冷却，然后，由管道接入二级空气冷却罐2，再由管道接入循环式油过滤罐3，其后管道再接入丝网 过滤罐4，及后续的活性炭过滤罐5。最后，完成以上过滤的尾气排向整个装置出气管道。在此过滤装置中，循环式油过滤罐3的过滤油是采用油泵抽排，环循使用的。
权利要求1.一种化学气相沉积尾气处理装置，其特征在于处理装置包括一级空气冷却罐(I)、二级空气冷却罐(2)、循环式油过滤罐(3)、丝网过滤罐(4)、活性炭过滤罐(5)，一级空气冷却罐(I)与化学气相沉积炉(6)之间用密闭金属管道连接，一级空气冷却罐(I)与二级空气冷却罐(2)、循环式油过滤罐(3)、丝网过滤罐(4)、活性炭过滤罐(5)依次与密闭金属管道连接，一级空气冷却罐(I)、二级空气冷却罐(2)、循环式油过滤罐(3)、丝网过滤罐(4)、活性炭过滤罐(5)的下方均设有排泄口，每个罐均采用下进气上出气的结构。
2.根据权利要求I所述的一种化学气相沉积尾气处理装置，其特征是，所述的循环式油过滤罐(3)的上方与油循环泵的出油口相接，循环式油过滤罐(3)的下方与油循环泵的进油口相接。
专利摘要本实用新型涉及一种气体处理过滤装置，特别涉及一种化学气相沉积尾气处理装置。处理装置包括一级空气冷却罐、二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐。一级空气冷却罐与化学气相沉积炉之间用密闭金属管道连接，一级空气冷却罐与二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐依次密闭金属管道连接，一级空气冷却罐、二级空气冷却罐、循环式油过滤罐、丝网过滤罐、活性炭过滤罐的下方均设有排泄口，每个罐均采用下进气上出气的结构。本实用新型采用了多个滤罐分开过滤不同的尾气产物，过滤尾气时逐级冷却、不同罐体过滤不同种类的气体和微粒子，该装置功能强大、过滤效果高，使用寿命长。
文档编号C23C16/00GK202355972SQ20112043517
公开日2012年8月1日 申请日期2011年11月4日 优先权日2011年11月4日
发明者刘乔冰, 周志伟, 姜海, 李东生, 闫桂沈 申请人:北京百慕航材高科技股份有限公司