技术编号：3386643
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及玻璃镀膜，特别涉及一种玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气直O背景技术玻璃镀膜机是玻璃镀膜的专用设备，一般采用平面磁控溅射靶，可以在大平板浮法玻璃上镀制金属单质膜、复合膜、LE低辐射膜，也可在小弯的弧形玻璃上镀膜，其应用范围较广。由于玻璃镀膜机工作时，其镀膜室必须处于真空状态，因此镀膜室一般外接有真空泵，在玻璃镀膜的工艺过程中，通过真空泵对镀膜室进行抽真空，然而，在实际生产中，采用该方法使得抽真空和玻璃镀膜只能交替进行，其镀膜效率相当低，抽真空效率也...
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