专利名称：玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及玻璃镀膜技术领域，特别涉及一种玻璃镀膜机用的低真空辅助抽
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背景技术：
玻璃镀膜机是玻璃镀膜的专用设备，一般采用平面磁控溅射靶，可以在大平板浮法玻璃上镀制金属单质膜、复合膜、LE低辐射膜，也可在小弯的弧形玻璃上镀膜，其应用范围较广。由于玻璃镀膜机工作时，其镀膜室必须处于真空状态，因此镀膜室一般外接有真空泵，在玻璃镀膜的工艺过程中，通过真空泵对镀膜室进行抽真空，然而，在实际生产中，采用该方法使得抽真空和玻璃镀膜只能交替进行，其镀膜效率相当低，抽真空效率也很低。为此，目前常用的玻璃镀膜机中，也有在玻璃镀膜机外侧增设负压室的，其结构如图1所示，通过先将镀膜室1内的气体抽至负压室2，再通过真空泵3将负压室2内的气体抽出，采用该处理方式后，虽然镀膜工艺线上的镀膜效率可有所提高，但由于镀膜室的体积较大，所以用于缓存来自镀膜室内气体的负压室体积也较大，这就给镀膜工艺线带来新的问题，由于负压室占地面积较大，会使镀膜工艺的成本大大提高。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、成本较低的玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置。本实用新型的技术方案为一种玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，包括真空箱、多个加强箱和真空泵，真空箱的两侧及下方设有多个加强筋，多个加强箱分布于各个加强筋之间的空间内，真空泵通过管道分别与真空箱和各个加强箱连接。所述真空箱是截面为L形的中空箱体结构。所述真空箱的高端上表面上设有高端开口，低端上表面上设有低端开口 ；高端开口上方设置高端上盖，低端开口上方设置低端上盖。所述低端上盖包括盖板和加强板，盖板与低端开口相接，加强板垂直设于盖板上方。其中，低端上盖一方面用于密封真空箱，另一方面，通过加强板加重低端上盖上的压力，从而保证低端上盖与真空箱的密封效果；高端开口由于其面积较小，因此只要在高端上盖与高端开口的相接处设置密封圈即可。所述盖板与低端开口的相接处还设有密封圈。所述各个加强箱分别为长方体中空结构，各个加强箱和各个加强筋相间排列设于真空箱下方。为了使得真空箱内的抽真空效果较好，各个加强箱的容积之和约等于真空箱的容积。所述真空泵与真空箱和各个加强箱连接的各个管道上分别设有阀门，通过对各个阀门的开度及启闭控制，可方便的控制真空泵对真空箱或加强箱进行抽真空。本玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置使用时，其工作原理是通过调节各个管道上的阀门，真空箱内的气体先被抽至各个加强箱内，在玻璃镀膜的过程中，通过真空泵逐渐将各个加强箱内的气体抽出，从而提高玻璃镀膜的生产效率。本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果本玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置通过在真空箱下方的各个加强筋之间设置加强箱，与现有的低真空辅助抽气装置相比较，省去占地面积较大的负压室，在保证抽真空及玻璃镀膜生产效率的同时，有效节约了玻璃镀膜的生产成本。
图1为现有玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置的结构示意图。图2为本玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置的结构示意图。图3为图2中的A局部放大图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。实施例本实施例一种玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，如图2所示，包括真空箱4、多个加强箱5和真空泵3，真空箱4的两侧及下方设有多个加强筋6，多个加强箱5分布于各个加强筋6之间的空间内，真空泵3通过管道分别与真空箱4和各个加强箱5连接。如图2所示，真空箱4是截面为L形的中空箱体结构。真空箱4的高端上表面上设有高端开口 7，低端上表面上设有低端开口 8 ；高端开口 7上方设置高端上盖9，低端开口 8上方设置低端上盖10。低端上盖10包括盖板11和加强板12，盖板11与低端开口 8相接，加强板12垂直设于盖板11上方。其中，低端上盖一方面用于密封真空箱，另一方面，通过加强板加重低端上盖上的压力，从而保证低端上盖与真空箱的密封效果；高端开口由于其面积较小，因此只要在高端上盖与高端开口的相接处设置密封圈即可。如图3所示，盖板11与低端开口 8的相接处还设有密封圈13。各个加强箱5分别为长方体中空结构，各个加强箱5和各个加强筋6相间排列设于真空箱下方。为了使得真空箱内的抽真空效果较好，各个加强箱的容积之和约等于真空箱的容积。真空泵与真空箱和各个加强箱连接的各个管道上分别设有阀门14，通过对各个阀门的开度及启闭控制，可方便的控制真空泵对真空箱或加强箱进行抽真空。本玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置使用时，其工作原理是通过调节各个管道上的阀门14，真空箱4内的气体先被抽至各个加强箱5内，在玻璃镀膜的过程中，通过真空泵3逐渐将各个加强箱5内的气体抽出，从而提高玻璃镀膜的生产效率。如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。
权利要求1.玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，包括真空箱、多个加强箱和真空泵，真空箱的两侧及下方设有多个加强筋，多个加强箱分布于各个加强筋之间的空间内，真空泵通过管道分别与真空箱和各个加强箱连接。
2.根据权利要求1所述玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，所述真空箱是截面为L形的中空箱体结构。
3.根据权利要求2所述玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，所述真空箱的高端上表面上设有高端开口，低端上表面上设有低端开口 ；高端开口上方设置高端上盖，低端开口上方设置低端上盖。
4.根据权利要求3所述玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，所述低端上盖包括盖板和加强板，盖板与低端开口相接，加强板垂直设于盖板上方。
5.根据权利要求4所述玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，所述盖板与低端开口的相接处还设有密封圈。
6.根据权利要求1所述玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，所述各个加强箱分别为长方体中空结构，各个加强箱和各个加强筋相间排列设于真空箱下方。
7.根据权利要求1所述玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，其特征在于，所述真空泵与真空箱和各个加强箱连接的各个管道上分别设有阀门。
专利摘要本实用新型公开一种玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置，包括真空箱、多个加强箱和真空泵，真空箱的两侧及下方设有多个加强筋，多个加强箱分布于各个加强筋之间的空间内，真空泵通过管道分别与真空箱和各个加强箱连接。本玻璃镀膜机用的低真空辅助抽气装置通过在真空箱下方的各个加强筋之间设置加强箱，与现有的低真空辅助抽气装置相比较，省去占地面积较大的负压室，在保证抽真空及玻璃镀膜生产效率的同时，有效节约了玻璃镀膜的生产成本。
文档编号C23C14/56GK202323009SQ20112045784
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月17日 优先权日2011年11月17日
发明者朱建明 申请人:肇庆市科润真空设备有限公司