技术编号:3386671
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种基片水平输送装置,具体涉及一种真空镀膜用基片水平输送直O背景技术真空镀膜用基片水平输送装置用于玻璃基片真空镀膜生产线,它是实现基片在镀膜生产线腔室中平稳输送的装置,传统的镀膜线采用基片垂直输送方式进行镀膜,该镀膜方式不仅限制了基片的尺寸规格,而且给整个设备的维修保养带来困难。现在,国内外大尺寸镀膜线大多采用卧式即基片为水平放置,但基片的输送采用辊子输送方式,该输送方式存在着基片跑偏的问题,而且对辊子材质要求苛刻,设备结构复杂,投资成本高。...
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