技术编号:3387610
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种真空镀膜设备,特别是带非真空加热装置的连续真空镀膜设备,属于太阳能电池。背景技术近年,随着IXD、太阳能等行业规模的快速扩张,真空连续镀膜机作为这些行业中已被广泛应用的设备,怎样迅速简单的增加其生产能力,提高镀膜性能,意义重大,由于镀 膜腔需要高真空度,因此连续镀膜机一般包括七个室,分别是进片真空室、前缓冲真空室、前过渡真空室、镀膜真空室、后过渡真空室、后缓冲真空室以及出片室真空室,镀膜时基片依次进入这些真空室,由于基片需要一定的温度,...
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