技术编号:33981071
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及晶体生长设备技术领域,尤其是涉及一种坩埚的支撑组件和具有其的晶体生长设备。背景技术.单晶生长设备中坩埚轴与坩埚的坩埚托连接,主要用于驱动坩埚的升降和旋转,由于长晶温度较高,坩埚轴的温度也非常高,为了保证坩埚轴的正常运行,需要对坩埚轴进行冷却降温。现有的坩埚轴冷却装置往往内置于坩埚轴内,仅对坩埚轴的轴体冷却,但仅冷却坩埚轴,仍不能阻止坩埚轴与坩埚托的连接处温度较高,对坩埚轴的冷却效果并不理想。并且现有的坩埚轴为一体式的设计,后期维护时需要更换整根坩埚轴,造成维护成本增加。现有技...
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