坩埚的支撑组件和具有其的晶体生长设备的制作方法

本技术涉及晶体生长设备，尤其是涉及一种坩埚的支撑组件和具有其的晶体生长设备。

背景技术：

1、单晶生长设备中坩埚轴与坩埚的坩埚托连接，主要用于驱动坩埚的升降和旋转，由于长晶温度较高，坩埚轴的温度也非常高，为了保证坩埚轴的正常运行，需要对坩埚轴进行冷却降温。现有的坩埚轴冷却装置往往内置于坩埚轴内，仅对坩埚轴的轴体冷却，但仅冷却坩埚轴，仍不能阻止坩埚轴与坩埚托的连接处温度较高，对坩埚轴的冷却效果并不理想。并且现有的坩埚轴为一体式的设计，后期维护时需要更换整根坩埚轴，造成维护成本增加。现有技术中的冷却装置结构松散，流道设计不够合理，容易导致散热不均的情况。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种坩埚的支撑组件，所述支撑组件可以对坩埚轴和坩埚轴与坩埚托的底部进行冷却，且结构紧凑，流道设计合理，并使坩埚轴和坩埚托可以均匀散热。

2、本实用新型还提出一种具有上述支撑组件的晶体生长设备。

3、根据本实用新型第一方面的坩埚的支撑组件，包括：

4、坩埚托，所述坩埚托支撑于坩埚的底部，所述坩埚托形成第一腔体；坩埚轴，所述坩埚轴与所述坩埚托连接，所述坩埚轴形成第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通形成冷却腔；分隔组件，所述分隔件组件置于所述第一腔体和第二腔体中，所述分隔组件将所述冷却腔分隔成进液通道和出液通道。

5、根据本实用新型的坩埚的支撑组件，通过在坩埚托内设置第一腔体在坩埚轴内设置第二腔体，并在第一腔体与第二腔体形成的冷却腔中设置分隔组件，可以冷却坩埚托和坩埚轴的连接处，使坩埚托与坩埚轴的冷却效率提升，冷却流道的整体结构更为紧凑，设计更为合理，且对坩埚托的冷却效果更好。

6、另外，根据本实用新型的坩埚的支撑组件还具有如下附加的技术特征：

7、在本实用新型的一些实施例中，所述分隔组件包括设置于所述第一腔体中的第一分隔件和设置于所述第二腔体中的第二分隔件，所述第一分隔件与所述第二分隔件相连。

8、在本实用新型的一个实施例中，所述第一分隔件包括：分隔板，所述分隔板沿所述第一腔体的径向延伸，所述分隔板上形成有沿贯通所述分隔板的通孔；连接部，所述连接部为沿所述第一腔体周向延伸的管状结构，所述连接部设于所述分隔板的下侧并与所述通孔的周沿相连。

9、在本实用新型的一些实施例中，所述第一分隔件和所述第二分隔件中的其中一个上形成有插接凹槽且另一个上形成有插接凸柱，所述插接凸柱配合于所述插接凹槽内以将所述第一分隔件与所述第二分隔件固定连接。

10、在本实用新型的一些实施例中，所述第一分隔件设有第一管部，所述第一管部沿所述坩埚轴的轴向延伸，所述第二分隔件设有第二管部，所述第二管部沿所述坩埚轴的轴向延伸，所述第一管部和所述第二管部沿所述坩埚轴的径向内外套设且螺纹连接。

11、在本实用新型的一些实施例中，所述坩埚托包括隔热部，所述隔热部形成于所述第一腔体的上侧，所述隔热部的上表面形成有向上凸起的安装部，所述安装部用于与所述坩埚固定连接。

12、在本实用新型的一些实施例中，所述坩埚轴的上端形成有沿所述坩埚轴径向延伸的承载台，所述承载台和所述坩埚托中的其中一个设有连接凹槽且另一个形成有连接凸起，所述连接凸起配合于所述连接凹槽内。

13、在本实用新型的一个实施例中，所述连接凸起包括多个，多个所述连接凸起在所述坩埚轴的周向间隔布置，或，所述连接凸起沿所述坩埚轴的周向延伸，所述连接凸起与所述连接凹槽螺纹连接。

14、根据本实用新型第二方面的晶体生长设备，包括炉体、坩埚和根据本实用新型第一方面实施例的坩埚的支撑组件，所述炉体形成炉腔，所述坩埚和所述支撑组件设置于所述炉腔中，所述支撑组件连接在所述坩埚的底部。

15、根据本实用新型的晶体生长设备，通过设置上述第一方面的坩埚的支撑组件，使坩埚轴的冷却效率提升，冷却流道的整体结构更为紧凑，设计更为合理，且对坩埚托的冷却效果更好。

16、在本实用新型的一些实施例中，所述坩埚包括石英坩埚和套设在所述石英坩埚外侧的石墨坩埚，所述石墨坩埚包括多个坩埚部，多个所述坩埚部沿所述石墨坩埚的周向首尾相连，所述坩埚托包括多个托举部，多个所述托举部沿所述坩埚托的周向首尾相连，其中，多个所述托举部的连接位置与多个所述坩埚部的连接位置在所述坩埚的周向方向错开布置。

17、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种坩埚的支撑组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的坩埚的支撑组件，其特征在于，所述分隔组件包括设置于所述第一腔体中的第一分隔件和设置于所述第二腔体中的第二分隔件，所述第一分隔件与所述第二分隔件相连。

3.根据权利要求2所述的坩埚的支撑组件，其特征在于，所述第一分隔件包括：

4.根据权利要求2所述的坩埚的支撑组件，其特征在于，所述第一分隔件和所述第二分隔件中的其中一个上形成有插接凹槽且另一个上形成有插接凸柱，所述插接凸柱配合于所述插接凹槽内以将所述第一分隔件与所述第二分隔件固定连接。

5.根据权利要求2所述的坩埚的支撑组件，其特征在于，所述第一分隔件设有第一管部，所述第一管部沿所述坩埚轴的轴向延伸，所述第二分隔件设有第二管部，所述第二管部沿所述坩埚轴的轴向延伸，所述第一管部和所述第二管部沿所述坩埚轴的径向内外套设且螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的坩埚的支撑组件，其特征在于，所述坩埚托包括隔热部，所述隔热部形成于所述第一腔体的上侧，所述隔热部的上表面形成有向上凸起的安装部，所述安装部用于与所述坩埚固定连接。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的坩埚的支撑组件，其特征在于，所述坩埚轴的上端形成有沿所述坩埚轴径向延伸的承载台，所述承载台和所述坩埚托中的其中一个设有连接凹槽且另一个形成有连接凸起，所述连接凸起配合于所述连接凹槽内。

8.根据权利要求7所述的坩埚的支撑组件，其特征在于，所述连接凸起包括多个，多个所述连接凸起在所述坩埚轴的周向间隔布置，或

9.一种晶体生长设备，其特征在于，包括：炉体、坩埚和权利要求1-8中任一项所述的坩埚的支撑组件，所述炉体形成炉腔，所述坩埚和所述支撑组件设置于所述炉腔中，所述支撑组件连接在所述坩埚的底部。

10.根据权利要求9所述的晶体生长设备，其特征在于，所述坩埚包括石英坩埚和套设在所述石英坩埚外侧的石墨坩埚，

技术总结
本技术公开了一种坩埚的支撑组件和具有其的晶体生长设备，所述支撑组件包括：坩埚托，所述坩埚托支撑于坩埚的底部，所述坩埚托形成第一腔体；坩埚轴，所述坩埚轴与所述坩埚托连接，所述坩埚轴形成第二腔体，所述第二腔体与所述第一腔体连通形成冷却腔；分隔组件，所述分隔件组件置于所述第一腔体和第二腔体中，所述分隔组件将所述冷却腔分隔成进液通道和出液通道。根据本技术的坩埚的支撑组件，通过在坩埚托内设置第一腔体，在坩埚轴内设置第二腔体，并在第一腔体与第二腔体形成的冷却腔中设置分隔组件，使坩埚托与坩埚轴的冷却效率提升，冷却流道的整体结构更为紧凑，设计更为合理，且对坩埚托的冷却效果更好。

技术研发人员：陈俊宏
受保护的技术使用者：徐州鑫晶半导体科技有限公司
技术研发日：20221114
技术公布日：2024/1/11