技术编号:3399510
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有紫外发光特性的纳米晶CoZnO薄膜材料及其制备方法,属于光电子材料领域。背景技术探索紫外波段的光源是当前光电子高技术发展的前沿之一,因为这种材料将在高密度存储、精密微加工、固态白光光源、平板显示等方面有着广阔的应用前景。在精密微细加工方面,目前在实验室已经达到0.1um的水平。其进一步发展,需要深紫外光源,来实现亚“亚微米”的更精密光刻微加工。解决的技术路线之一,是利用KBBF等光电晶体,通过4-6倍频技术,实施深紫外激光输出,中国科学院理化...
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