技术编号:34017278
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于半导体技术领域,尤其涉及一种蚀刻机用蚀刻液循环系统。背景技术.pcb( printed circuit board),中文名称为印刷电路板,又称印刷线路板。pcb板是重要的电子部件,是电子元器件的支撑体,也是电子元器件电气相互连接的载体。其提供了集成电路等各种电子元器件固定、装配的机械支承,实现了集成电路等各种电子元器件之间的布线和电气连接或电绝缘,提供所要求的电气特性。在半导体器件制造中,印刷电路板会在刻蚀机中经过蚀刻液的刻蚀以选择性地从衬底上的薄膜去除材料并通过这种去除在...
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