蚀刻机用蚀刻液循环系统的制作方法

本技术属于半导体，尤其涉及一种蚀刻机用蚀刻液循环系统。

背景技术：

1、pcb（ printed circuit board），中文名称为印刷电路板，又称印刷线路板。pcb板是重要的电子部件，是电子元器件的支撑体，也是电子元器件电气相互连接的载体。其提供了集成电路等各种电子元器件固定、装配的机械支承，实现了集成电路等各种电子元器件之间的布线和电气连接或电绝缘，提供所要求的电气特性。在半导体器件制造中，印刷电路板会在刻蚀机中经过蚀刻液的刻蚀以选择性地从衬底上的薄膜去除材料并通过这种去除在衬底上创建该材料的图案。在使用完成后需要对蚀刻液进行排空处理，现有的排空方式通常是将过滤器出口端打开进行排空，虽然能将过滤器内的蚀刻液排出，但整个系统管路内的蚀刻液无法彻底排空，导致蚀刻系统的管路中留有药液的残留，影响后续新药液受到残液的影响。

技术实现思路

1、针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种蚀刻机用蚀刻液循环系统。

2、本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

3、蚀刻机用蚀刻液循环系统，包括蚀刻液过滤器，所述蚀刻液过滤器与蚀刻液药槽之间通过管路联通形成刻蚀机的蚀刻液内循环系统，所述蚀刻液过滤器的另一端与蚀刻液外循环管道联通，所述蚀刻液过滤器的上端还连接有一气路通道。

4、优选地，所述气路通道的进气端与外设氮气设备通过控制阀连接。

5、优选地，所述蚀刻液过滤器的入口端与蚀刻液药槽的出口端连接，所述蚀刻液过滤器的下端设置有排液口，所述蚀刻液过滤器的滤清液出口的一端与蚀刻液药槽入口端连接，所述蚀刻液过滤器的滤清液出口的另一端与蚀刻液外循环管道联通。

6、优选地，所述蚀刻液外循环管道与蚀刻液内循环内循环系统的管路联通。

7、优选地，所述蚀刻液过滤器的排液口设置有双通阀。

8、本实用新型的有益效果体现在：通过在蚀刻液过滤器的上端与气路管道联通，在需要进行蚀刻液的排空时，利用气体进行冲压能很好的将管道内的残留蚀刻液排尽，避免后续更换的新的蚀刻液受到残留药液的影响，实用性强。

技术特征：

1.蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：包括蚀刻液过滤器，所述蚀刻液过滤器与蚀刻液药槽之间通过管路联通形成刻蚀机的蚀刻液内循环系统，所述蚀刻液过滤器的另一端与蚀刻液外循环管道联通，所述蚀刻液过滤器的上端还连接有一气路通道。

2.如权利要求1所述的蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：所述气路通道的进气端与外设氮气设备通过控制阀连接。

3.如权利要求2所述的蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：所述蚀刻液过滤器的入口端与蚀刻液药槽的出口端连接，所述蚀刻液过滤器的下端设置有排液口，所述蚀刻液过滤器的滤清液出口的一端与蚀刻液药槽入口端连接，所述蚀刻液过滤器的滤清液出口的另一端与蚀刻液外循环管道联通。

4.如权利要求3所述的蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：所述蚀刻液外循环管道与蚀刻液内循环内循环系统的管路联通。

5.如权利要求4所述的蚀刻机用蚀刻液循环系统，其特征在于：所述蚀刻液过滤器的排液口设置有双通阀。

技术总结
本技术提供了一种蚀刻机用蚀刻液循环系统，包括蚀刻液过滤器，所述蚀刻液过滤器与蚀刻液药槽之间通过管路联通形成刻蚀机的蚀刻液内循环系统，所述蚀刻液过滤器的另一端与蚀刻液外循环管道联通，所述蚀刻液过滤器的上端还连接有一气路通道。本技术的有益效果体现在：通过在蚀刻液过滤器的上端与气路管道联通，在需要进行蚀刻液的排空时，利用气体进行冲压能很好的将管道内的残留蚀刻液排尽，避免后续更换的新的蚀刻液受到残留药液的影响，实用性强。

技术研发人员：夏发成,颜琮琳
受保护的技术使用者：矽品科技（苏州）有限公司
技术研发日：20221102
技术公布日：2024/1/11