技术编号：3402297
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种连续镀膜装置用加热器。背景技术现有的电子薄膜制备技术部分采用磁控溅射、电子束蒸发及热蒸发镀膜，在镀膜过程中通常需要对镀膜工件实施加热。在以往真空镀膜中，通常采取接触式加热，其缺陷是对移动样品难以实现，不能满足连续镀膜的加热要求。另还有利用白金丝、白金片加热的方式，但由于材料非常昂贵，不宜大范围使用。发明内容本实用新型的目的是提供一种加热效率高且性能可靠的连续镀膜装置用加热器，它可适用于连续镀膜装置的连续镀膜加热。为实现上述目的，本实用新型...
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