专利名称：连续镀膜装置用加热器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种连续镀膜装置用加热器。
背景技术：
现有的电子薄膜制备技术部分采用磁控溅射、电子束蒸发及热蒸发镀膜，在镀膜过程中通常需要对镀膜工件实施加热。在以往真空镀膜中，通常采取接触式加热，其缺陷是对移动样品难以实现，不能满足连续镀膜的加热要求。另还有利用白金丝、白金片加热的方式，但由于材料非常昂贵，不宜大范围使用。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种加热效率高且性能可靠的连续镀膜装置用加热器，它可适用于连续镀膜装置的连续镀膜加热。
为实现上述目的，本实用新型采取以下设计方案一种连续镀膜装置用加热器，它包括一由外围板围合的长腔体，下侧开轴向通口，内置一组加热灯管。长腔体内的前、后及上侧均设有一层以上的隔热板。
在加热灯管下侧设一可抽拉的石英挡板。
在加热器上固接一用于与外界固定的支架。
本实用新型的优点是采用红外加热方式，升温速率快，有效温度高，加热面积大，均匀性好，有利于连续镀膜工艺，有助于多层膜的快速生长。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型连续镀膜装置用加热器包括一由前、后、上外围板7及两端立板3围合的长腔体1，下侧开轴向通口，内置一组加热灯管2。
所述的一组加热灯管2根据加热功率的需要可以是1根或多根。
在长腔体两端的立板3处设有接线端板4，以供加热灯管与电源开关的连接。
长腔体内的前、后及上侧均设有一层以上的挡板8。
在加热灯管下侧设一可抽拉的石英挡板5，其作用是防止被镀膜过程中灯被膜污染，且方便更换。
在加热器的后背侧板上固接一用于与外界固定的支架6。
所述的加热灯管以采用卤素灯管为佳。
为取得较好的受热效果，本实用新型加热器置于真空镀膜室内，且设在行进的镀膜基带上方，使得行进的基带正好沿着加热器下侧轴向开的通口通过，由于加热器前、后及上侧挡板的作用，可使卤素灯管发出的热能(几乎是全部)均匀的向下辐射，可以对基带加热到最高900℃，且加热长度可较长(近乎长腔体内腔长度)，在一定长度上温度均匀性可达±2℃，有效保证了连续镀膜的均匀性。
权利要求1.一种连续镀膜装置用加热器，其特征在于它包括一由外围板围合的长腔体，下侧开轴向通口，内置一组加热灯管。
2.根据权利要求1所述的连续镀膜装置用加热器，其特征在于长腔体内的前、后及上侧均设有一层以上的隔热板。
3.根据权利要求1所述的连续镀膜装置用加热器，其特征在于在加热灯管侧面设置有可抽拉的石英挡板。
4.根据权利要求1所述的连续镀膜装置用加热器，其特征在于在加热器固接一用于与外界固定的支架。
5.根据权利要求1所述的连续镀膜装置用加热器，其特征在于所述的加热灯管为卤素灯管。
6.根据权利要求1所述的连续镀膜装置用加热器，其特征在于所述的加热灯管为一根或多根。
专利摘要本实用新型公开了一种连续镀膜装置用加热器，它包括一由外围板围合的腔体，侧面开轴向通口，内置一组加热灯管。长腔体内的前、后及上侧均设有一层以上的挡板。在加热灯管下侧设一可抽拉的石英挡板。在加热器的固接一用于与外界固定的支架。本实用新型可适用于连续镀膜装置的连续镀膜加热。
文档编号C23C14/56GK2846440SQ200520106338
公开日2006年12月13日 申请日期2005年8月25日 优先权日2005年8月25日
发明者杨坚, 古宏伟, 冯彬, 金振奎, 刘慧舟, 屈飞, 马平 申请人:北京有色金属研究总院