技术编号:3402298
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于电子机械,尤其涉及一种多功能连续镀膜装置。背景技术现有的电子薄膜制备技术一般采用磁控溅射、电子束蒸发及热蒸发镀膜,在以往高真空镀膜中,多采取单一镀膜装置或多室的多功能镀膜装置。由于在镀膜过程中需要真空的工艺环境,故均配有泵抽系统及相关的气路控制及检测系统;对磁控溅射靶、电子枪及热蒸发坩埚等配备相应的电源及手动控制开关;对镀膜产品配有加热系统;亦有一些较先进的设备实行对整台设备的计算机控制。对于一些需要多种方式镀多层膜的产品现只能采用分别进入单...
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