技术编号:3403558
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空沉积的领域。更具体而言,本发明涉及有机材料 的薄膜的真空沉积,例如用于制备基于有机材料的电致发光二极管(OLED)。 背景技术OLED装置的基本单元的结构是由夹在透明的阳极和金属阴极 之间的非常精细的有机层的堆叠构成的。这些有机层是通过材料或构 成该层的材料的蒸发和真空沉积制备的。由该制备过程提出的一个问题是,于真空中在含有待处理的已蒸 发的有机材料的基材的情况下引入外壳。例如第US 4,553,022号美国专利描述了用于实施该方法的已知 的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。