技术编号：3404380
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及物品表面加工工具，特别是对物体表面研磨、抛光、清洁或类似加工的表面处理用具。背景技术与本实用新型有关的先前，包含诸如但不限于的半导体产业、玻璃基板产业、各式光滑面板产业或类似领域。在该等领域中用来处理物品表面例如研磨、抛光、清洁或类似加工的用具大多数使用一种片垫，该片垫被控制而与待处理物表面接触，通过相互的移动产生磨擦作用而达到表面处理的预期效果。该片垫以具有软弹性、吸收性、不产生脱落微屑等特征的材料制成，例如聚胺酯(Polyurethane...
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